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SmarActでは、自由度が高く高精度なヘキサホッドステージSmarPodをご提供しています。
SmarPodは、ソフトウエアにより回転中心となるピボットポイントを自由に変更でき、XYZ軸と2軸チルト軸、回転軸を備えた汎用性の高い6軸ステージシステムです。
円形のベースプレートの3箇所にステージが取り付けられた円形タイプと、3台のリニアステージの上に直交した3台のステージが取り付けられた平行タイプがあります。
光ファイバーの結合やマイクロアセンブリングなど、様々なアプリケーションでご利用いただいております。
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SmarPod CLS-32は、EDUドライブユニットを搭載したCLSシリーズをベースとしたシステムです。
EDUドライブ搭載ですので、ドライブユニットが交換可能で、長期間にわたってご利用いただけます。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動距離 | X=20mm, Y=20mm, Z=10mm, θx=21°, θy=24°, θz=38° | 耐荷重 | 垂直：5N、水平：2.5N |
|---|---|---|---|
| 外形 | φ124x54mm | 重量 | 550g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm 1μrad |
繰返し精度（Closed loop時） | ±200nm（フルレンジ）/±15nm（1mmレンジ） ±10μrad |
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SmarPod 70.42は、ラインナップの中で最も小型な円形タイプのヘキサポッドシステムです。
すべてのステージが直径70mmのベースプレートに全て収まっていながら、5〜10mmの移動距離を有しています。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動距離 | X=10mm, Y=10mm, Z=5mm, θx=14°, θy=16°, θz=28° | 耐荷重 | 垂直：5N、水平：2.5N |
|---|---|---|---|
| 外形 | φ70x42mm | 重量 | 300g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm 1μrad |
繰返し精度（Closed loop時） | ±200nm（フルレンジ）/±15nm（1mmレンジ） ±10μrad |
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SmarPod 110.45は、中型の円形タイプのヘキサポッドシステムです。
移動範囲が広いため様々なご用途に対応いたします。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動距離 | X=20mm, Y=20mm, Z=10mm, θx=21°, θy=24°, θz=38° | 耐荷重 | 垂直：5N、水平：2.5N |
|---|---|---|---|
| 外形 | φ110x45mm | 重量 | 400g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm 1μrad |
繰返し精度（Closed loop時） | ±200nm（フルレンジ）/±15nm（1mmレンジ） ±10μrad |
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SmarPod 225.75は、大型の円形タイプのヘキサポッドシステムです。
XY軸の移動範囲が40mmを超え、耐荷重は10Nまで対応いたします。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動距離 | X=41mm, Y=41mm, Z=21mm, θx=20°, θy=23°, θz=41° | 耐荷重 | 垂直：10N、水平：5N |
|---|---|---|---|
| 外形 | φ225x75mm | 重量 | 1000g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm 1μrad |
繰返し精度（Closed loop時） | ±200nm（フルレンジ）/±15nm（1mmレンジ） ±10μrad |
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SmarPod P-SLC-17は、3台のリニアステージSLC-17の上に直交した3台のステージが取り付けられた平行タイプのヘキサポッドシステムです。
同等サイズの円形タイプと比べ、移動範囲が広いのが特徴です。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動距離 | X=48mm, Y=28(〜48)mm, Z=9mm, θx=28°, θy=26°, θz=20° | 耐荷重 | 垂直：5N、水平：2.5N |
|---|---|---|---|
| 外形 | 110x80x67.5mm | 重量 | 300(〜2000)g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm 1μrad |
繰返し精度（Closed loop時） | ±200nm（フルレンジ）/±15nm（1mmレンジ） ±10μrad |
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SmarPod P-SLC-24は、3台のリニアステージSLC-24をベースとした中型の平行タイプのヘキサポッドシステムです。
ラインナップの中でも比較的移動範囲が広く、幅広い用途にご利用いただいているシステムです。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動距離 | X=79(〜119)mm, Y=45(〜119)mm, Z=12mm, θx=31°, θy=27°, θz=42° | 耐荷重 | 垂直：10N、水平：5N |
|---|---|---|---|
| 外形 | 150x100x87mm | 重量 | 300(〜2000)g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm 1μrad |
繰返し精度（Closed loop時） | ±200nm（フルレンジ）/±15nm（1mmレンジ） ±10μrad |
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SmarPod P-SLLは、SLLシリーズに３つのキャリアを搭載した超大型の平行タイプのヘキサポッドシステムです。
X方向のSLLステージにY方向のSLCステージを載せて、X方向は最大1200mmの移動範囲を実現します。
高真空オプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動距離 | X=20(〜1200)mm, Y=45(〜119)mm, Z=16mm, θx=42°, θy=33°, θz=42° | 耐荷重 | 垂直：10N、水平：5N |
|---|---|---|---|
| 外形 | 250x93x67.5mm | 重量 | 300(〜2000)g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm 1μrad |
繰返し精度（Closed loop時） | ±200nm（フルレンジ）/±15nm（1mmレンジ） ±10μrad |
