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*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
TRIPOD 52-6Dofは、CLS-52モジュラーシステムをベースに構築された6軸ステージシステムです。
XY軸31mm, Z軸5mmの直線移動範囲に、θx17°、θy19°更にθzは360の回転範囲を持っています。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動距離 | X=31mm, Y=31mm, Z=5mm, θx=17°, θy=19°, θz=360° | 耐荷重 | 垂直:5N、水平:2.5N |
---|---|---|---|
外形 | 88x61x81mm | 重量 | 550g |
分解能(Closed loop時) | 1nm 1μrad |
繰返し精度(Closed loop時) | ±200nm(フルレンジ)/±15nm(1mmレンジ) ±10μrad |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
TRIPOD 92-6Dofは、CLS-92モジュラーシステムをベースに構築された6軸ステージシステムです。
XY軸63mm,Z軸10mmの直線移動範囲に、θx26°、θy30°更にθzは360の回転範囲を持っています。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動距離 | X=63mm, Y=63mm, Z=10mm, θx=26°, θy=30°, θz=360° | 耐荷重 | 垂直:5N、水平:2.5N |
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外形 | 142x101x89mm | 重量 | 1850g |
分解能(Closed loop時) | 1nm 1μrad |
繰返し精度(Closed loop時) | ±200nm(フルレンジ)/±15nm(1mmレンジ) ±10μrad |
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