株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

フィジックステクノロジーは、ピエゾステージをはじめとする位置決め機器や、光学的手法を用いた計測技術を専門とした企業です。

047-370-8600

多軸ステージシステム


XY2軸ステージシステム

SLCシリーズ及びCLSシリーズを使ったXY2軸ステージシステムです。

XY-SLC1722

XY-SLC1722 XY-SLC1722

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XY-SLC1722

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SLC-1720を2台組み合わせたXYステージシステムです。
小型ながらXY軸とも12mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離(X) 12mm 移動距離(Y) 12mm
使用ステージ SLC-1720 耐荷重 20N
外形 65x65x24mm(ベースプレート含む)
22x22x19mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XY-SLC1730

XY-SLC1730 XY-SLC1730

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XY-SLC1730

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SLC-1730を2台組み合わせたXYステージシステムです。
小型ながらXY軸とも21mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離(X) 21mm 移動距離(Y) 21mm
使用ステージ SLC-1730 耐荷重 20N
外形 65x65x22mm(ベースプレート含む)
22x22x17mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XY-SLC1780

XY-SLC1780 XY-SLC1780

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XY-SLC1780

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SLC-1780を2台組み合わせたXYステージシステムです。
XY軸とも51mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離(X) 51mm 移動距離(Y) 51mm
使用ステージ SLC-1780 耐荷重 30N
外形 80x80x22mm(ベースプレート含む)
80x80x17mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XY-SLC2460

XY-SLC2460 XY-SLC2460

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XY-SLC2460

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SLC-2460を2台組み合わせたXYステージシステムです。
XY軸とも35mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離(X) 35mm 移動距離(Y) 35mm
使用ステージ SLC-2460 耐荷重 30N
外形 65x65x26mm(ベースプレート含む)
60x60x21mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XY-CLS3232

XY-CLS3232 XY-CLS3232

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XY-CLS3232

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

CLS-3232を2台組み合わせたXYステージシステムです。
XY軸とも21mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離(X) 21mm 移動距離(Y) 21mm
使用ステージ CLS-3232 耐荷重 20N
外形 65x65x27mm(ベースプレート含む)
32x32x22mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XY-CLS5252

XY-CLS5252 XY-CLS5252

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XY-CLS5252

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

CLS-5252を2台組み合わせたXYステージシステムです。
XY軸とも31mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離(X) 31mm 移動距離(Y) 31mm
使用ステージ CLS-5252 耐荷重 20N
外形 90x90x34mm(ベースプレート含む)
52x52x28mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XY-SLC1780Aperture

SLC-1780を2台組み合わせ、60mmのアパチャーを備えたXYステージシステムです。

XY軸とも51mmのストロークを持っています。


主な仕様

移動距離 X=51mm, Y=51mm 使用ステージ SLC-1780
耐荷重 30N アパチャー 60mm
外形 138x138x22mm(ベースプレート含む) 分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XYZ3軸ステージシステム

SLCシリーズ及びCLSシリーズを使ったXYZ3軸ステージシステムです。

XYZ-SLC1722

XYZ-SLC1722

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XYZ-SLC1722

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SLC-1720を3台組み合わせたXYZステージシステムです。
小型ながらXYZ軸とも12mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離 X=12mm, Y=12mm, Z=12mm 使用ステージ SLC-1720
耐荷重 1.5N 外形 65x65x41mm(ベースプレート含む)
34x22x36mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XYZ-SLC1730

XYZ-SLC1730

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XYZ-SLC1730

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SLC-1730を3台組み合わせたXYZステージシステムです。
小型ながらXYZ軸とも21mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離 X=21mm, Y=21mm, Z=21mm 使用ステージ SLC-1730
耐荷重 1.5N 外形 65x65x58mm(ベースプレート含む)
38x32x53mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XYZ-SLC2330

XYZ-SLC2330

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XYZ-SLC2330

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

U字型ベースプレートオプション付きSLC-1730を3台組み合わせたXYZステージシステムです。
より高い強度を持ちXYZ軸とも21mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離 X=21mm, Y=21mm, Z=21mm 使用ステージ SLC-1730-W
耐荷重 1.5N 外形 65x65x58mm(ベースプレート含む)
38x32x53mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XYZ-XY-SLC1740_Z-SLC1730.jpg

XYZ-XY-SLC1740_Z-SLC1730.jpg

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XYZ-XY-SLC1740_Z-SLC1730.jpg

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

XY軸にSLC-1740とZ軸にSLC-1730を組み合わせたXYZステージシステムです。
XY軸は26mm、Z軸は21mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離 X=26mm, Y=26mm, Z=21mm 使用ステージ XY:SLC-1740, Z:SLC-1730
耐荷重 1.5N 外形 65x65x62mm(ベースプレート含む)
42x40x57mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XYZ-SLC2445

XYZ-SLC2445

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XYZ-SLC2445

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SLC-2445を3台組み合わせたXYZステージシステムです。
XYZ軸とも29mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離 X=29mm, Y=29mm, Z=29mm 使用ステージ SLC-2445
耐荷重 1.5N 外形 65x65x81mm(ベースプレート含む)
52x45x76mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XYZ-CLS3232

XYZ-CLS3232

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XYZ-CLS3232

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

CLS-3232を3台組み合わせたXYZステージシステムです。
XYZ軸とも21mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離 X=21mm, Y=21mm, Z=21mm 使用ステージ CLS-3232
耐荷重 1.5N 外形 65x65x59mm(ベースプレート含む)
48.5x32x54mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XYZ-CLS5252

XYZ-CLS5252

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XYZ-CLS5252

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

CLS-5252を3台組み合わせたXYZ ステージシステムです。
XYZ軸とも31mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離 X=31mm, Y=31mm, Z=31mm 使用ステージ CLS-5252
耐荷重 1.5N 外形 65x65x59mm(ベースプレート含む)
79x63.5x98.5mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XYZ-SHL-3D5N-5

XYZ-SHL-3D5N-5

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XYZ-SHL-3D5N-5

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

パラレルキネマティックデザインのXYZステージシステムです。
洗練されたデザインでかつXYZ軸とも5mmのストロークを持っています。

主な仕様

移動距離 X=5mm, Y=5mm, Z=5mm 使用ステージ SHL-3D5N-5
耐荷重 5N 外形 100x140x40mm(ベースプレート含む)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XYZR4軸ステージシステム

SLCシリーズ及びCLSシリーズを使ったリニアXYZ3軸ステージに回転R1軸ステージを搭載したシステムです。

XYZR-XYZ-CLS3232-R-SRP3211

XYZR-XYZ-CLS3232-R-SRP3211

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XYZR-XYZ-CLS3232-R-SRP3211

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

CLS-32320を3台組み合わせて、先端にSR-3211をマウントしたXYZRの4軸ステージシステムです。
小型ながらXYZ軸が21mmのストロークと先端に360°回転可能なR軸が取り付けられています。

主な仕様

移動距離 X=21mm, Y=21mm, Z=21mm, R=360° 使用ステージ XYZ:CLS-3232, R:SR-3211
耐荷重 3.3N 外形 79x65x70mm(ベースプレート含む)
62.5x45.5x65mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

XYZR-XYZ-SLC1730-R-SRP2013

XYZR-XYZ-SLC1730-R-SRP2013

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

XYZR-XYZ-SLC1730-R-SRP2013

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SLC-1730を3台組み合わせて、先端にSR-2013をマウントしたXYZRの4軸ステージシステムです。
小型ながらXYZ軸が21mmのストロークと先端に360°回転可能なR軸が取り付けられています。

主な仕様

移動距離 X=21mm, Y=21mm, Z=21mm, R=360° 使用ステージ XYZ:SLC-1730, R:SR-2013
耐荷重 1.3N 外形 68x65x57mm(ベースプレート含む)
50x30x52mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

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