株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

株式会社フィジックス テクノロジーは、高分解能ピエゾステージなど、光学・測定・精密機器の専門企業です。
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ピエソステージ
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オプトメカトロニクス

オプティカルマウント/2軸チルトステージ

オプティカルマウント/2軸チルトステージ

SmarAct 社ではミラーやサンプルのチルト機構にご利用いただけるオプティカルマウントをご用意しております。

全てのモデルがピエゾ駆動ですので、高精度な位置決めが可能です。

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STT-12.7

主な仕様

傾斜範囲 φ±2.0°Θ±2.0° アパチャー(ミラーサイズ) 12.7mm
エンコーダ分解能 - 最大速度 15°/s
ステージ外形 20×20mm 重量 20g
真空対応 HV・UHV

STT-25.4

主な仕様

傾斜範囲 φ±2.5°Θ±2.5° アパチャー(ミラーサイズ) 25.4mm
エンコーダ分解能 - 最大速度 15°/s
ステージ外形 35.6×35.6mm 重量 25g
真空対応 HV・UHV

STT-50.8

主な仕様

傾斜範囲 φ±1.0°Θ±1.0° アパチャー(ミラーサイズ) 50.8mm
エンコーダ分解能 - 最大速度 15°/s
ステージ外形 60.5×60.5mm 重量 30g
真空対応 HV・UHV

STT-2013

主な仕様

傾斜範囲 φ±2.0°Θ±2.0° アパチャー(ミラーサイズ) 12.7/25.4mm
エンコーダ分解能 25μ° 最大速度 45°/s
ステージ外形 35×45.75mm 重量 30g
真空対応 HV・UHV

STT-50

主な仕様

傾斜範囲 ±25°/10mm アパチャー(ミラーサイズ) -
エンコーダ分解能 0.1μrad/1nm 最大速度 30°/s,10mm/s
ステージ外形 50×50mm 重量 120g
真空対応 HV・UHV


アイリス / フィルターホイール

アイリス / フィルターホイール

SID シリーズは、ピエゾ駆動の絞りユニットです。SID-5714 は超高真空にも対応した最高級モデルです。

SFW-6-25.4 はピエゾ駆動による 6枚のフィルター切換えユニットです。
アイリス等と同じコントローラで制御できます。

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SID-7

主な仕様

最大開口径 7mm 最小開口径 0.5mm
開口分解能 15nm 最大速度 4mm/s
アイリス羽根数 12 重量 35g
真空対応 HV

SID-18

主な仕様

最大開口径 18mm 最小開口径 1mm
開口分解能 30nm 最大速度 6mm/s
アイリス羽根数 13 重量 35g
真空対応 HV

SID-50

主な仕様

最大開口径 50mm 最小開口径 5mm
開口分解能 30nm 最大速度 6mm/s
アイリス羽根数 18 重量 60g
真空対応 HV

SID-5714

主な仕様

最大開口径 18/22/25mm 最小開口径 1.2/0/1.5mm
開口分解能 1nm 最大速度 6mm/s
アイリス羽根数 12/14/14 重量 60g
真空対応 HV・UHV

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