株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

株式会社フィジックス テクノロジーは、高分解能ピエゾステージなど、光学・測定・精密機器の専門企業です。
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リニアステージ

リニアステージ

SmarAct 社のリニアステージには、クロスローラガイドを採用した SLCシリーズ、自走式の SLLシリーズ、世界最小クラスのSLシリーズと高耐荷重の垂直ステージなど幅広いラインナップを取り揃えております。


SLC17シリーズ

SLC17シリーズ

SLC17シリーズは、幅 17mm・高さ 8.5mmのコンパクトなリニアステージです。

小型ながらサイズアップせずにクローズドループにも対応しますので、真空用途などに最適なシリーズです。

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主な仕様

ストローク 12 ~ 51mm ステージ長 20 ~ 80mm
エンコーダ分解能 1nm ステージ幅 17mm
推力 3.5N ステージ高さ 8.5mm
最大耐荷重 20N 重量 13 ~ 51g
最高速度 20mm/s 真空対応 HV・UHV


SLC24シリーズ

SLC24シリーズ

SLC24シリーズは、幅 24mm・ 高さ 10.5mmでより頑丈なリニアステージです。

123mmの長ストロークも用意されていますので、顕微鏡用ステージ等ガントリータイプの構築に最適です。

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主な仕様

ストローク 16 ~ 123mm ステージ長 30 ~ 180mm
エンコーダ分解能 1nm ステージ幅 24mm
推力 3.5N ステージ高さ 10.5mm
最大耐荷重 20N 重量 36 ~ 216g
最高速度 20mm/s 真空対応 HV・UHV


SLLシリーズ

SLLシリーズ

SLLシリーズは、レールに設置されたキャリアが自走するユニークなピエゾステージです。

レール長は最長 1480mmあり、その上に複数のキャリアを設置できますので、ステージを重ねる必要がありません。

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主な仕様

ストローク 35~460・10~940mm レール長 70~475・70~1480mm
エンコーダ分解能 1nm レール幅 12/42mm
推力 3 or 5N ステージ高さ 13/16mm
最大耐荷重 30N キャリア重量 44/148g
最高速度 20mm/s 真空対応 HV


SLシリーズ

SLシリーズ

SLシリーズは、世界最小クラスのミニチュアピエソステージです。

□11mmと小型ながら XYZ軸などに組み合わせる事も可能です。

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主な仕様

ストローク 4.5mm ステージ長 11mm
エンコーダ分解能 - ステージ幅 11mm
推力 1N ステージ高さ 5.2mm
最大耐荷重 1N 重量 3g
最高速度 13mm/s 真空対応 HV・UHV


SHLシリーズ

SHLシリーズ

SHLシリーズは、高耐荷重のZ軸ピエゾステージです。ピエゾステージでは困難だった重量物の垂直移動が可能です。ストロークも11mmありクローズドループにも対応します。

主な仕様

ストローク 10mm ステージ長 75mm
エンコーダ分解能 1nm ステージ幅 65mm
推力 - ステージ高さ 50mm
最大耐荷重 20N 重量 200g
最高速度 9mm/s 真空対応 HV・UHV

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