株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

株式会社フィジックス テクノロジーは、高分解能ピエゾステージなど、光学・測定・精密機器の専門企業です。
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6軸パラレル・キネマティックステージ

ロータリーステージ

SmarAct 社では、全軸ピエゾ駆動による6軸パラレル・キネマティック・ピエゾステージ SmarPod をご提供しております。ピボットポイントの指定でコントローラがリニア(XYZ軸)と回転(ΘxΘyΘz)の計6軸を自動制御します。
ファイバーのアライメントやマイクロアセンブリングに最適です。

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円形タイプ

円形タイプ

XY 軸のリニアステージに傾斜されたリニアステージのセットが、円形に配置された SmarPod シリーズの標準タイプです。
コンパクトなデザインながら高精度な位置決めが可能です。

円形タイプグラフ 円形タイプグラフ

SmarPod70.42

主な仕様

X軸ストローク 10mm Y軸 ストローク 10mm
Z軸ストローク 5mm Θx回転量 14°
Θy回転量 16° Θz回転量 28°
最小分解能 1nm/1μrad 外形 φ70mm

SmarPod115.25

主な仕様

X軸ストローク 11mm Y軸 ストローク 11mm
Z軸ストローク 5mm Θx回転量 18°
Θy回転量 20° Θz回転量 37°
最小分解能 1nm/1μrad 外形 φ115mm

SmarPod110.45

主な仕様

X軸ストローク 20mm Y軸 ストローク 20mm
Z軸ストローク 11mm Θx回転量 21°
Θy回転量 24° Θz回転量 38°
最小分解能 1nm/1μrad 外形 φ110mm

SmarPod225.75

主な仕様

X軸ストローク 41mm Y軸 ストローク 41mm
Z軸ストローク 21mm Θx回転量 20°
Θy回転量 23° Θz回転量 41°
最小分解能 1nm/1μrad 外形 φ225mm


平行タイプ

平行タイプ

平行タイプは、長ストロークのリニアステージをベースに配置し、その上に直行した 3軸のリニアステージと傾斜したステージが構成されています。

水平方向に長いストロークが必要な用途に最適です。


P-SLC-17

主な仕様

X軸ストローク 48mm Y軸ストローク 28~48mm
Z軸ストローク 9mm Θx回転量 28°
Θy回転量 26° Θz回転量 20°
最小分解能 1nm/1μrad 外形 110×50mm

P-SLC-24

主な仕様

X軸ストローク 79~119mm Y軸ストローク 45~119mm
Z軸ストローク 12mm Θx回転量 31°
Θy回転量 27° Θz回転量 42°
最小分解能 1nm/1μrad 外形 110×90mm

P-SLL

主な仕様

X軸ストローク 20~1200mm Y軸ストローク 45~119mm
Z軸ストローク 16mm  Θx回転量 42°
Θy回転量 33° Θz回転量 42°
最小分解能 1nm/1μrad 外形 250×80mm

Wafer-200

主な仕様

X軸ストローク 200mm Y軸ストローク 200mm
Z軸ストローク 10mm Θx回転量
Θy回転量 Θz回転量 24°
最小分解能 1nm/1μrad 外形 420×430mm

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