株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

株式会社フィジックス テクノロジーは、高分解能ピエゾステージなど、光学・測定・精密機器の専門企業です。
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ピエソステージ
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ピコスケールレーザ干渉変位計

ロータリーステージ

SmarActのピコスケール・レーザー干渉変位計は、 ロングレンジで高分解能な測定を、簡単かつ安定な測定を実現するためのオプションツールを取り揃えております。

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特徴と仕様

8つの特徴

  • ・ 0~500mmのロングレンジ
  • ・ 10MHzの高速測定スピード
  • ・ 3ch対応USB・Ethernet I/F コントローラ
  • ・ 自動ステージ・精密機器への組込に最適
  • ・ ピコスケールの分解能
  • ・ φ4mmの小型センサヘッド
  • ・ 高真空・超高真空など多様な環境に対応
  • ・ 用途に応じたプローブの制作可能

仕様詳細

チャンネル数 3
測定レンジ 0~ 500mm
最小分解能 1pm
サンプリングレート 10MHz
標準プローブサイズ φ4mm・L13mm
測定レーザ DFB ダイオードレーザ (1550nm)
アライメントレーザ レーザダイオード (650nm)
インターフェース USB2.0:10MHz(48bit)
ギガビット Ethernet
AquadB:10MHz
オプション:DAC,ADC,TTL など
温度補正ユニット 温度 ±0.2°, 気圧 ±200Pa, 湿度 ±2%RH
調整用センサーホルダー STT-12.7 による2軸チルト機構
真空 高真空 / 超高真空用フィードスルー

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