株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

株式会社フィジックス テクノロジーは、高分解能ピエゾステージなど、光学・測定・精密機器の専門企業です。
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ロータリーステージ

ロータリーステージ

SmarAct 社のロータリーピエゾステージ SRシリーズは、数種類のベアリングを用いて、小型タイプ・ 中空タイプ・高耐荷重タイプなど豊富なラインナップを取り揃えております。

全モデルともリミットなしで360°回転させることが可能です。


小型ステージ

小型ステージ

小型ロータリーステージとして SR-1908, SR-2013, SR-2812 の 3種類をご用意しております。SR-1908 はオープンループ用ですが、最も小型のロータリーステージです。
SR-2013 と SR-2812はセラミックベアリングを採用した高精度なロータリーステージです。

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SR-1908

主な仕様

エンコーダ分解能 - ステージ外形 24.7×20mm
推力 0.5Ncm ステージ高さ 8.5mm
最大耐荷重 5N 重量 13g
最高速度 45°/s 真空対応 HV

SR-2013

主な仕様

エンコーダ分解能 25μ° ステージ外形 25.5×20mm
推力 0.5Ncm ステージ高さ 10.2mm
最大耐荷重 3N 重量 11g
最高速度 45°/s 真空対応 HV・UHV

SR-2812

主な仕様

エンコーダ分解能 25μ° ステージ外形 37.5×30mm
推力 3Ncm ステージ高さ 12mm
最大耐荷重 3N 重量 35g
最高速度 25°/s 真空対応 HV・UHV


中空ステージ

中空ステージ

中空ロータリーステージとして SR-5714, SR-5714C, SR-7012の3種類をご用意しております。
中心穴径は光学用とに最適なφ25mmです。SR-5714Cは超高真空にも対応します。

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SR-5714

主な仕様

エンコーダ分解能 15μ° ステージ外形 57×57mm
推力 7Ncm ステージ高さ 14mm
最大耐荷重 25N 重量 110g
最高速度 9°/s 真空対応 HV

SR-5714C

主な仕様

エンコーダ分解能 15μ° ステージ外形 57×57mm
推力 5Ncm ステージ高さ 3.75mm
最大耐荷重 25N 重量 105g
最高速度 9°/s 真空対応 HV・UHV

SR-7012

主な仕様

エンコーダ分解能 15μ° ステージ外形 70×70mm
推力 10Ncm ステージ高さ 12mm
最大耐荷重 25N 重量 100g
最高速度 9°/s 真空対応 HV


高耐荷重ステージ

高耐荷重ステージ

高耐荷重ロータリーステージには SR-4513, SR-5018, SR-7021 の 3種類をご用意しております。SR-5018 は唯一マイクロセンサ搭載しており、低価格なクローズドループ ステージです。

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SR-4513

主な仕様

エンコーダ分解能 15μ° ステージ外形 45×45mm
推力 5Ncm ステージ高さ 12.5mm
最大耐荷重 20N 重量 89g
最高速度 15°/s 真空対応 HV

SR-5018

主な仕様

エンコーダ分解能 15μ° ステージ外形 50×50mm
推力 7Ncm ステージ高さ 16.5mm
最大耐荷重 20N 重量 100g
最高速度 15°/s 真空対応 HV

SR-7021

主な仕様

エンコーダ分解能 15μ° ステージ外形 90×90mm
推力 10Ncm ステージ高さ 21mm
最大耐荷重 25N 重量 400g
最高速度 9°/s 真空対応 HV・UHV


ゴニオメーター

ゴニオメーター

SGOシリーズは、ピエゾステージとしてはユニークなゴニオメーターです。3種類のガイド径タイプをご用意しております。

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SGO-60.5

主な仕様

エンコーダ分解能 2μ° ステージ外形 50×50mm
回転中心長さ 60.5mm 回転量 ±5°
推力 20Ncm 最大耐荷重 5N
最大速度 4°/s 真空対応 HV・UHV

SGO-77.5

主な仕様

エンコーダ分解能 2μ° ステージ外形 50×50mm
回転中心長さ 77.5mm 回転量 ±5°
推力 20Ncm 最大耐荷重 5N
最大速度 4°/s 真空対応 HV・UHV

SGO-93.5

主な仕様

エンコーダ分解能 2μ° ステージ外形 50×50mm
回転中心長さ 93.5mm 回転量 ±5°
推力 20Ncm 最大耐荷重 5N
最大速度 4°/s 真空対応 HV・UHV

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