株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

フィジックステクノロジーは、ピエゾステージをはじめとする位置決め機器や、光学的手法を用いた計測技術を専門とした企業です。

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精密ステージ・測定器(精密ステージ:特殊ステージ)
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DLS-3232

DLS-3232

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DLS-3232

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

DLS-3232は、SmarAct社のハイブリッドドライブ技術で駆動する小型ステージです。
CLS-32シリーズと完全な互換性があり、リニアステージや回転ステージと簡単に取り付けが可能で、MCS2コントローラを使用して共通で制御することができます。

主な仕様

移動距離 21mm スキャンレンジ 10μm
推力(水平方向) 3.5N 推力(垂直方向) 1.5N
耐荷重 5.0N 外形 32x32x12mm
重量 50g 最大速度 20mm/s
共振周波数 700Hz 分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

DLS-5252

DLS-5252

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DLS-5252

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

DLS-5252は、長ストロークなStick-Slipドライブと高分解能のピエゾスキャナーを兼ね備えたハイブリッドステージです。
CLS-52シリーズと完全な互換性があり、リニアステージや回転ステージと簡単に取り付けが可能で、MCS2コントローラを使用して共通で制御することができます。

主な仕様

移動距離 30mm スキャンレンジ 35μm
推力(水平方向) 3.5N 推力(垂直方向) 1.5N
耐荷重 5.0N 外形 52x52x15mm
重量 150g 最大速度 20mm/s
共振周波数 350Hz 分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー)

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