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*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
DLS-3232は、SmarAct社のハイブリッドドライブ技術で駆動する小型ステージです。
CLS-32シリーズと完全な互換性があり、リニアステージや回転ステージと簡単に取り付けが可能で、MCS2コントローラを使用して共通で制御することができます。
● 主な仕様
移動距離 | 21mm | スキャンレンジ | 10μm |
---|---|---|---|
推力(水平方向) | 3.5N | 推力(垂直方向) | 1.5N |
耐荷重 | 5.0N | 外形 | 32x32x12mm |
重量 | 50g | 最大速度 | 20mm/s |
共振周波数 | 700Hz | 分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
DLS-5252は、長ストロークなStick-Slipドライブと高分解能のピエゾスキャナーを兼ね備えたハイブリッドステージです。
CLS-52シリーズと完全な互換性があり、リニアステージや回転ステージと簡単に取り付けが可能で、MCS2コントローラを使用して共通で制御することができます。
● 主な仕様
移動距離 | 30mm | スキャンレンジ | 35μm |
---|---|---|---|
推力(水平方向) | 3.5N | 推力(垂直方向) | 1.5N |
耐荷重 | 5.0N | 外形 | 52x52x15mm |
重量 | 150g | 最大速度 | 20mm/s |
共振周波数 | 350Hz | 分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー) |
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