超高真空対応ステージ

- 特殊ステージ -

SmarAct社では、高真空や超高真空に対応したピエゾステージをラインナップに取り揃えております。ケーブルはテフロンとフッ素を含まないカプトンの2種類をご用意しており、ご用途に応じて最適なステージをご提供いたします。
高真空や超高真空に対応したピエゾステージをお求めの場合、電流導入端子も一緒にご提供差し上げております。
高真空用ステージの場合はOリング封しのフィードスルーのご提供、超高真空用ステージの場合はフィードスルーがフランジに溶接された一体型をご提供しております。

超高真空用ステージは、130℃までのベーキングにも対応し、U字型ベースプレートオプションをご使用いただくとステージの機械的強度がアップします。