株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

フィジックステクノロジーは、ピエゾステージをはじめとする位置決め機器や、光学的手法を用いた計測技術を専門とした企業です。

047-370-8600

レーザー干渉変位計



主な仕様

測定仕様
シングルポイント振動分解能 1pm イメージングモード振動分解能 0.1nm
周波数レンジ 最大2.5MHz 光学水平分解能 2〜7μm
ワーキングディスタンス 1.5〜10mm 最大イメージサイズ 20x20mm
最小ピクセルサイズ 1μm 最大ピクセル数 1000x1000 ピクセル
寸法仕様
コントローラ W33 x L27 x H7.2cm/1台あたり、7.6kg
スキャニングステージ W5.5 x L11.0 x H7.5cm、0.25kg
シェーカーステージ φ8 x 1.5cm、0.5kg
測定台 グラナイト定盤:W15 x L20 x H4cm、ポール:φ2.5 x H15cm、総重量:4.3kg

製品構成

振動計コントローラ

レーザー振動計PICOSCALE Vibrometerには、システムコントローラとステージコントローラがあります。
システムコントローラは、レーザー干渉変位計測を行うためのレーザー光の照射や干渉信号の検出さらに、干渉信号の振幅と周波数を処理します。

ステージコントローラには、XYZ軸のステージをクローズドループ制御し、加えてシェーカーステージを駆動するためのパワー・アンプが搭載されています。

XYZスキャニングシステム

XYZスキャニングシステムは、センサーヘッドを搭載し、サンプル上でレーザ光を走査するためのモジュールです。
コンパクトなハウジングにSmarAct社のクローズドループステージが内蔵されています。
最大移動範囲は20mm、再現性は50nmと高精度ステージユニットです。

様々なサンプルに適応するために、簡単に高さを調整できるように直径25mmのポールに取り付けられるようにデザインされています。

センサーヘッド

レーザー振動計PICOSCALE Vibrometerは、PicoScaleの中のC03センサーヘッドを採用してしています。

内蔵された対物レンズによって数μm のスポットサイズに集光します。

センサーヘッドは、光ファイバーを通してコントローラに接続されます。


シェーカーステージ

シェーカーステージは、測定対象物の周波数応答を割り出すために使用します。

シェーカーステージは、高速ピエゾベースのアクチュエーターで駆動され、最大1.5MHz までの広い周波数範囲に対応します。


ソフトウエア

レーザー振動計PICOSCALE Vibrometerには、2つのソフトウエアが付属されます。

コントロールソフトウエア

PCで操作するために簡単な操作で振動計測を行うことができます。

表示ソフトウエア

測定された振動データを解析するためのソフトウエアです。2Dまたは3Dによる結果表示に加え、測定したバイナリーデータを別のソフトウエアで使用するためにエクスポート機能があります。

ファームウエアモジュール

レーザー振動計PICOSCALE Vibrometerは、最大3つの測定点の振動を測定することができます。

非接触測定

分解能1pmで最大2.5MHz(10MHzのサンプリングレート)の広い振動帯域幅

時間領域または周波数領域の振動解析

真空や極低温など様々な環境に対応

プラスチック、ガラス、金属、さらには水など、殆どの材料への応用が可能

測定例

1)マイクロカンチレバー(タングステン)の定点振動測定
2)大型ポンプの低周波振動特性
3)ガラス窓の振動測定

走査型イメージングモード振動測定

レーザー振動計PICOSCALE Vibrometerは、数μm〜数mmサイズのマイクロメカニカル構造の振動を測定することが可能です。

高い水平分解能を有していますので、MEMS・センサー小型スピーカーや、ベアリングやアクチュエータの振動モードの視覚化にご利用いただけます。

測定された振動データから振動画像を再現することができます。

測定対象をレーザー走査して測定する非接触測定

1pmの分解能で最大2.5MHz(10MHz のサンプリングレート)の広い振動帯域幅

光学分解能2μm の赤外共焦点顕微鏡

ストロボスコープイメージングとしての活用

シェーカーステージ付きでターンキーシステム

様々なアプリケーションへの利用が可能

測定例

1)シリコン筐体下のMEMS振動測定
2)スマートフォンのスピーカーの共鳴測定
3)超音波トランスデューサー測定


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