株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

フィジックステクノロジーは、ピエゾステージをはじめとする位置決め機器や、光学的手法を用いた計測技術を専門とした企業です。

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多軸ステージシステム
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マイクロロボット SmarGon

マイクロロボット SmarGon

マイクロロボット SmarGon

主な仕様

Travel range Sphere of Confusion Resolution of Motion Velocity
ω軸 360° 1μm 100μ° 180°/s
χ軸 0〜90° 7μm 20μ° 10°/s
Φ軸 360° 7μm 20μ° 80°/s
X軸 ±2mm - 5nm 10mm/s
Y軸 ±2mm - 5nm 10mm/s
Z軸 ±2mm - 5nm 10mm/s

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