- 精密ステージ・測定器一覧
- 精密ステージ
- 多軸ステージシステム
- レーザー干渉変位計
モジュラーシステム
SmarAct社のモジュラーシステムは、幾つかのリニアステージと回転ステージ、ゴニオステージに互換性を持たせ、お客様が簡単に複合システムを構築できるようにデザインしたモデルをご提供しております。
また、複雑なシステムを構築する場合に便利なベースプレートやスペーサ、ブラケットなど様々なアクセサリーもご用意しております。
対応ステージ
こちらのステージは、モジュラーシステムに対応しており、複合システム構築が容易に実現出来ます。
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
| 移動距離 | 21mm | 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 30N | 外形 | 32x32x11mm |
| 重量 | 33g | 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー） | 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm（Sセンサー）, ±100nm（Lセンサー） |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
| 移動距離 | 31mm | 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.0N |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 20N | 外形 | 52x52x14mm |
| 重量 | 94g | 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー） | 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm（Sセンサー）, ±100nm（Lセンサー） |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SR-3211は、CLS-32やSLS-32シリーズのリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 2Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 3N | 外形 | 32x32x11mm |
| 重量 | 35g | 最大速度 | 15°/s |
| 分解能（Closed loop時） | 25μ° |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SR-5014は、CLSやSLSシリーズのリニアステージやSGOゴニオステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 5Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 20N | 外形 | 50x50x14mm |
| 重量 | 100g | 最大速度 | 15°/s |
| 分解能（Closed loop時） | 15μ° |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
CHS-5237-1D10N-10は、分離ドライブ型モジュールを搭載した耐荷重10Nで移動ストローク10mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動距離 | 10mm | 耐荷重 | 10N |
|---|---|---|---|
| 外形 | 52x52x37mm | 重量 | 270g |
| 最大速度 | 4mm/s | 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | 100nm（Sセンサー）, 200nm（Lセンサー） |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SGO-77.5は、77.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
SLS-52シリーズと組み合わせたり、SGO-60.5の下に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心を形成することが簡単にできます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | ±5° | 推力 | 20Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 5N | 回転半径 | 77.5mm |
| 外形 | 50x50x17mm | 重量 | 140g |
| 最大速度 | 4°/s | 分解能（Closed loop時） | 0.03μ°（Sセンサー）, 0.12μ°（Lセンサー） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | 0.12μ°（Sセンサー） |
アクセサリー
ベースプレート
ベースプレートは、ステージを光学ベンチやブレッドボードに簡単に取り付けするためのプレートです。 プレートにはステージを取り付ける穴に加えてケーブルを押さえるクランパーを取り付ける穴もあります。
スペーサ
スペーサは、ステージ対応した外形を持った各種サイズが用意されています。
スペーサは、ブレッドボードに取り付けたり、ステージの上に取り付けることができます。
ブラケット
ブラケットは、ステージを垂直に固定しZ軸としてご利用される時に使用します。ブラケットは水平ステージの上またはベースプレートに取り付けることができ、SLCシリーズ、SLSシリーズ、回転ステージに対応した幾つかの種類をご用意しております。
アダプタープレート
水平ステージと回転ステージの組み合わせるやブラケットと回転ステージを取り付ける場合に必要なアクセサリーです。
アダプタープレートは、ご使用になるステージによって幾つかの種類をご用意しております。
定荷重バネ
定荷重バネは、ステージを垂直取り付ける時の静的荷重を持たせる場合に使用します。
垂直取り付けるステージとブラケットに固定可能です。
ケーブルクランパー
ケーブルクランパーは、ステージケーブルをベースプレートに固定するためのクランパーです。 ケーブル数に応じてサイズの異なるクランパーをご用意しております。
