株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

フィジックステクノロジーは、ピエゾステージをはじめとする位置決め機器や、光学的手法を用いた計測技術を専門とした企業です。

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精密ステージ・測定器(精密ステージ:特殊ステージ)
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エアーベアリング回転ステージ

  • エアーベアリング回転ステージは、最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージです。

    搭載物に応じて回転テーブルサイズを豊富にご用意しております。

    幅広いアプリケーションにご利用いただいております。

  • 真円度測定システム

    マイクロ・ナノトモグラフィー

    超精密加工装置

    半導体関連機器

    医療用関連機器

    レーザー微細加工装置

    非球面マイクロマシニング

主な仕様

プレート径 74mm 耐荷重 137N
偏芯誤差 100nm 面振れ誤差 50nm
角度精度 ±13.8arcsec 最大速度 300rpm

主な仕様

プレート径 99mm 耐荷重 206N
偏芯誤差 100nm 面振れ誤差 50nm
角度精度 ±10.3arcsec 最大速度 200-1200rpm

主な仕様

プレート径 148.5mm 耐荷重 434N
偏芯誤差 100nm 面振れ誤差 50nm
角度精度 ±6.9 arcsec 最大速度 200-800rpm

主な仕様

プレート径 150mm 耐荷重 726N
偏芯誤差 20nm 面振れ誤差 20nm
角度精度 ±6.9 arcsec 最大速度 200rpm

主な仕様

プレート径 248.5mm 耐荷重 804N
偏芯誤差 100nm 面振れ誤差 50nm
角度精度 ±4.0 arcsec 最大速度 100-200rpm

主な仕様

プレート径 495.5mm 耐荷重 8300N
偏芯誤差 100nm 面振れ誤差 50nm
角度精度 ±2.9 arcsec 最大速度 60rpm

主な仕様

プレート径 99mm 耐荷重 300N
偏芯誤差 1μm 面振れ誤差 1μm
角度精度 ±10.3 arcsec 最大速度 200rpm

主な仕様

プレート径 150mm 耐荷重 740N
偏芯誤差 1μm 面振れ誤差 1μm
角度精度 ±6.9 arcsec 最大速度 400rpm

エアーベアリングリニアステージ

エアーベアリングリニアステージには豊富なラインナップをご用意しております。
ステージを組み合わせたガントリーステージやXYZ軸のカスタマイズシステムもご提供しております。

主な仕様

移動距離 100mm 耐荷重 65kg
精度 ±0.3μm 繰り返し精度 ±0.1μm
ピッチング ±4μrad ローリング ±4μrad
ヨーイング ±4μrad

主な仕様

移動距離 200mm 耐荷重 65kg
精度 ±0.5μm 繰り返し精度 ±0.15μm
ピッチング ±8μrad ローリング ±8μrad
ヨーイング ±8μrad

主な仕様

移動距離 300mm 耐荷重 65kg
精度 ±0.5μm 繰り返し精度 ±0.15μm
ピッチング ±12μrad ローリング ±12μrad
ヨーイング ±12μrad

主な仕様

移動距離 400mm 耐荷重 65kg
精度 ±0.5μm 繰り返し精度 ±0.2μm
ピッチング ±13μrad ローリング ±13μrad
ヨーイング ±13μrad

主な仕様

移動距離 500mm 耐荷重 65kg
精度 ±0.5μm 繰り返し精度 ±0.3μm
ピッチング ±14μrad ローリング ±14μrad
ヨーイング ±14μrad

主な仕様

移動距離 1000mm 耐荷重 65kg
精度 ±1.0μm 繰り返し精度 ±0.4μm
ピッチング ±29μrad ローリング ±29μrad
ヨーイング ±29μrad

主な仕様

移動距離 1500mm 耐荷重 65kg
精度 ±1.0μm 繰り返し精度 ±0.4μm
ピッチング ±39μrad ローリング ±39μrad
ヨーイング ±39μrad

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