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エアーベアリング回転ステージ
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エアーベアリング回転ステージは、最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージです。
搭載物に応じて回転テーブルサイズを豊富にご用意しております。
幅広いアプリケーションにご利用いただいております。
● 真円度測定システム
● マイクロ・ナノトモグラフィー
● 超精密加工装置
● 半導体関連機器
● 医療用関連機器
● レーザー微細加工装置
● 非球面マイクロマシニング
● 主な仕様
プレート径 | 74mm | 耐荷重 | 137N |
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偏芯誤差 | 100nm | 面振れ誤差 | 50nm |
角度精度 | ±13.8arcsec | 最大速度 | 300rpm |
● 主な仕様
プレート径 | 99mm | 耐荷重 | 206N |
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偏芯誤差 | 100nm | 面振れ誤差 | 50nm |
角度精度 | ±10.3arcsec | 最大速度 | 200-1200rpm |
● 主な仕様
プレート径 | 148.5mm | 耐荷重 | 434N |
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偏芯誤差 | 100nm | 面振れ誤差 | 50nm |
角度精度 | ±6.9 arcsec | 最大速度 | 200-800rpm |
● 主な仕様
プレート径 | 150mm | 耐荷重 | 726N |
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偏芯誤差 | 20nm | 面振れ誤差 | 20nm |
角度精度 | ±6.9 arcsec | 最大速度 | 200rpm |
● 主な仕様
プレート径 | 248.5mm | 耐荷重 | 804N |
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偏芯誤差 | 100nm | 面振れ誤差 | 50nm |
角度精度 | ±4.0 arcsec | 最大速度 | 100-200rpm |
● 主な仕様
プレート径 | 495.5mm | 耐荷重 | 8300N |
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偏芯誤差 | 100nm | 面振れ誤差 | 50nm |
角度精度 | ±2.9 arcsec | 最大速度 | 60rpm |
● 主な仕様
プレート径 | 99mm | 耐荷重 | 300N |
---|---|---|---|
偏芯誤差 | 1μm | 面振れ誤差 | 1μm |
角度精度 | ±10.3 arcsec | 最大速度 | 200rpm |
● 主な仕様
プレート径 | 150mm | 耐荷重 | 740N |
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偏芯誤差 | 1μm | 面振れ誤差 | 1μm |
角度精度 | ±6.9 arcsec | 最大速度 | 400rpm |
エアーベアリングリニアステージ
エアーベアリングリニアステージには豊富なラインナップをご用意しております。
ステージを組み合わせたガントリーステージやXYZ軸のカスタマイズシステムもご提供しております。
● 主な仕様
移動距離 | 100mm | 耐荷重 | 65kg |
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精度 | ±0.3μm | 繰り返し精度 | ±0.1μm |
ピッチング | ±4μrad | ローリング | ±4μrad |
ヨーイング | ±4μrad |
● 主な仕様
移動距離 | 200mm | 耐荷重 | 65kg |
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精度 | ±0.5μm | 繰り返し精度 | ±0.15μm |
ピッチング | ±8μrad | ローリング | ±8μrad |
ヨーイング | ±8μrad |
● 主な仕様
移動距離 | 300mm | 耐荷重 | 65kg |
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精度 | ±0.5μm | 繰り返し精度 | ±0.15μm |
ピッチング | ±12μrad | ローリング | ±12μrad |
ヨーイング | ±12μrad |
● 主な仕様
移動距離 | 400mm | 耐荷重 | 65kg |
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精度 | ±0.5μm | 繰り返し精度 | ±0.2μm |
ピッチング | ±13μrad | ローリング | ±13μrad |
ヨーイング | ±13μrad |
● 主な仕様
移動距離 | 500mm | 耐荷重 | 65kg |
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精度 | ±0.5μm | 繰り返し精度 | ±0.3μm |
ピッチング | ±14μrad | ローリング | ±14μrad |
ヨーイング | ±14μrad |
● 主な仕様
移動距離 | 1000mm | 耐荷重 | 65kg |
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精度 | ±1.0μm | 繰り返し精度 | ±0.4μm |
ピッチング | ±29μrad | ローリング | ±29μrad |
ヨーイング | ±29μrad |
● 主な仕様
移動距離 | 1500mm | 耐荷重 | 65kg |
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精度 | ±1.0μm | 繰り返し精度 | ±0.4μm |
ピッチング | ±39μrad | ローリング | ±39μrad |
ヨーイング | ±39μrad |
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