株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

フィジックステクノロジーは、ピエゾステージをはじめとする位置決め機器や、光学的手法を用いた計測技術を専門とした企業です。

047-370-8600

精密ステージ・測定器(精密ステージ:ピエゾステージ製品)


SGO-60.5

SGO-60.5

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*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SGO-60.5

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SGO-60.5は、60.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
CLS-52シリーズと組み合わせたり、SGO-77.5の上に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心を形成することが簡単にできます。

高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

主な仕様

移動角度 ±5° 推力 20Ncm
耐荷重 5N 回転半径 60.5mm
外形 50x50x17mm 重量 140g
最大速度 4°/s 分解能(Closed loop時) 0.03μ°(Sセンサー), 0.12μ°(Lセンサー)
繰返し精度(Closed loop時) 0.12μ°(Sセンサー)

SGO-77.5

SGO-77.5

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SGO-77.5

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SGO-77.5は、77.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
CLS-52シリーズと組み合わせたり、SGO-60.5の下に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心を形成することが簡単にできます。

高真空や超高真空のオプションもご用意しております

主な仕様

移動角度 ±5° 推力 20Ncm
耐荷重 5N 回転半径 77.5mm
外形 50x50x17mm 重量 140g
最大速度 4°/s 分解能(Closed loop時) 0.03μ°(Sセンサー), 0.12μ°(Lセンサー)
繰返し精度(Closed loop時) 0.12μ°(Sセンサー)

SGO-93.5

SGO-93.5

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SGO-93.5

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SGO-93.5は、新しくラインナップに追加された93.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
回転中心まで十分な距離がありますので、ゴニオステージの上にサブステージを取り付ける場合に適しております。

高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

主な仕様

移動角度 ±5° 推力 20Ncm
耐荷重 5N 回転半径 93.5mm
外形 50x50x17mm 重量 140g
最大速度 4°/s 分解能(Closed loop時) 0.03μ°(Sセンサー), 0.12μ°(Lセンサー)
繰返し精度(Closed loop時) 0.12μ°(Sセンサー)

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