株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

精密ステージ

- ロングレンジピエゾステージ(ロータリーステージ)
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ロータリーステージ(ロングレンジピエゾステージ)

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ロータリーステージ

ロータリーステージ

SmarAct社では、回転ステージにもStick-Slipドライブを採用しており、小型なロータリーステージや中空ステージなど、様々なラインナップをご用意しております。
全ての回転ステージが360°リミット無しで制御され、フィードバックセンサを内蔵することが可能です。


SR-1908

SR-1908は、SmarAct社の回転ステージで最も小型なオープンループ専用のステージです。
ステンレスベアリングと7mmのアパチャーを持ち、狭いスペースでのご利用に最適です。

SR-1908図面 SR-1908図面拡大
*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
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*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SR-1908
移動角度 360°
推力 0.5Ncn
耐荷重 5N
外形 25x20x8.5mm
重量 13g
最大速度 45°/s
アパチャーサイズ 8mm
SR-2013

SR-2013は、クローズドループ対応の最軽量回転ステージです。
セラミックベアリングにより高精度と低い偏心を実現しています。
超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。

SR-2013図面 SR-2013図面拡大
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主な仕様
型番 SR-2013
移動角度 360°
推力 0.5Ncn
耐荷重 3N
外形 25.5x20x10.2mm
重量 11g
最大速度 45°/s
分解能(Closed loop時) 25μ°
アパチャー -
SR-2812

SR-2812は、9mmのアパチャーをもつクローズドループ対応の小型回転ステージです。
セラミックベアリングにより高精度と低い偏心を実現しています。
超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。

SR-2812 SR-2812図面拡大
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主な仕様
型番 SR-2812
移動角度 360°
推力 3Ncn
耐荷重 3N
外形 37.5x30x12mm
重量 35g
最大速度 30°/s
分解能(Closed loop時) 25μ°
アパチャー 9mm
SR-3211

SR-3211は、CLS-32シリーズのリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。

SR-3211図面 SR-3211図面拡大
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主な仕様
型番 SR-3211
移動角度 360°
推力 2Ncn
耐荷重 3N
外形 32x32x11mm
重量 35g
最大速度 15°/s
分解能(Closed loop時) 25μ°
アパチャー -
SR-4011

SR-4011は、ステンレスベアリングにより高い剛性をもった回転ステージです。
回転面が比較的大きいにも関わらず、厚みは薄く設計されています。
高真空のオプションもご用意しております。

SR-4011図面 SR-4011図面拡大
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主な仕様
型番 SR-4011
移動角度 360°
推力 3Ncn
耐荷重 10N
外形 40x40x11mm
重量 60g
最大速度 30°/s
分解能(Closed loop時) 15μ°
アパチャーサイズ 9mm
SR-4513

SR-4513は、ステンレスベアリングにより高い剛性をもった回転ステージです。
9mmのアパチャーを設けてあります。
高真空のオプションもご用意しております。

SR-4513図面 SR-4513図面拡大
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主な仕様
型番 SR-4513
移動角度 360°
推力 5Ncn
耐荷重 20N
外形 45x45x12.5mm
重量 89g
最大速度 30°/s
分解能(Closed loop時) 15μ°
アパチャー 8mm
SR-5014

SR-5014は、CLSシリーズのリニアステージやCGOゴニオステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
高真空のオプションもご用意しております。

SR-5014図面 SR-5014図面拡大
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主な仕様
型番 SR-5014
移動角度 360°
推力 5Ncn
耐荷重 20N
外形 50x50x14mm
重量 100g
最大速度 30°/s
分解能(Closed loop時) 15μ°
アパチャー 8mm
SR-5714

SR-5714は、アパチャー25mmをもち光学系のアライメントなど幅広いアプリケーションにご利用いただけます。
高真空のオプションもご用意しております。

SR-5714図面 SR-5714図面拡大
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主な仕様
型番 SR-5714
移動角度 360°
推力 7Ncn
耐荷重 25N
外形 57x57x14mm
重量 110g
最大速度 15°/s
分解能(Closed loop時) 15μ°
アパチャー 25mm
SR-5714C

SR-5714Cは、セラミックベアリングを装着しており、アパチャー25mmもある回転ステージです。
超高真空や非磁性のオプションもご用意しております。

SR-5714C図面 SR-5714C図面拡大
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SR-5714C図面拡大
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SR-5714C
移動角度 360°
推力 7Ncn
耐荷重 25N
外形 57x57x13.5mm
重量 105g
最大速度 15°/s
分解能(Closed loop時) 15μ°
アパチャー 25mm
SR-7012

SR-7012は、30mmの大きなアパチャーがあり、高さが12mmと薄いため、多くのお客様にご利用いただいている回転ステージです。
高真空のオプションもご用意しております。

SR-7012図面 SR-7012図面拡大
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SR-7012図面拡大
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SR-7012
移動角度 360°
推力 10Ncn
耐荷重 25N
外形 70x70x12mm
重量 100g
最大速度 15°/s
分解能(Closed loop時) 15μ°
アパチャー 30mm
SR-9219

SR-9219は、CLS-92のリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
高真空のオプションもご用意しております。

SR-9219図面 SR-9219図面拡大
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SR-9219図面拡大
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SR-9219
移動角度 360°
推力 10Ncn
耐荷重 25N
外形 92x92x19mm
重量 450g
最大速度 15°/s
分解能(Closed loop時) 15μ°
アパチャー 27mm
SR-9219C

SR-9219Cは、CLS-92やMLS-92のリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
セラミックベアリングを用いており、超高真空や非磁性のオプションもご用意しております。

SR-9219C図面 SR-9219C図面拡大
*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SR-9219C図面拡大
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SR-9219C
移動角度 360°
推力 10Ncn
耐荷重 25N
外形 92x92x19mm
重量 250g
最大速度 15°/s
分解能(Closed loop時) 15μ°
アパチャー 30mm
SR-12012

SR-12012は、SmarAct社のステージの中で最大径のアパチャーをもつ回転ステージです。
厚みは12mmと薄型を維持しながら120x120mmの設置面積を持っています。
高真空のオプションもご用意しております。

SR-12012図面 SR-12012図面拡大
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*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SR-12012図面拡大
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SR-12012
移動角度 360°
推力 15Ncn
耐荷重 20N
外形 120x120x12mm
重量 320g
最大速度 5°/s
分解能(Closed loop時) 5μ°
アパチャーサイズ 82mm

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