精密ステージ
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リニアステージ（ロングレンジピエゾステージ）
リニアステージ
SmarAct社のリニアステージは、コンパクトでありながらフィードバックセンサを内蔵しており、長ストロークの駆動距離と高分解能を持ち合わせています。
ストロークに応じて異なるモデルを用意しております。
SLCシリーズは、クロスローラベアリングを備えた高い剛性と優れた真直度を持ったリニアステージで、SLC−17とSLC−24の2種類の幅が用意されています。
CLSシリーズは、お客様が簡単にステージの組み立てが行えるように取付寸法を統一したリニアステージです。
SLシリーズは、最も小型なリニアステージで、SLLシリーズは、最長1mを超える長ストロークリニアステージです。
SLC-17シリーズ
SLC-17シリーズは、数多くの実績を持つSmarAct社の代表的なリニアステージです。
高い安定性と高精度に優れ、幅17ｍｍ、高さ8.5mmとコンパクトながら、クローズドループ用のフィードバックセンサを内蔵することも可能です。
主な仕様
| 種類 | SLC-17シリーズ |
|---|---|
| ストローク | 12〜51mm |
| ステージ長 | 20〜80mm |
| エンコーダ分解能 | 1nm |
| ステージ幅x高さ | 17x8.5mm |
| 推力 | 3.5N |
| 最大耐荷重 | 10〜30N |
| 最高速度 | 20mm/s |
| 真空対応 | HV・UHV |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-1720 |
|---|---|
| 移動距離 | 12mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 10N |
| 外形 | 22x17x8.5mm |
| 重量 | 13g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能(Closed loop時) | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度(Closed loop時) | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-1730 |
|---|---|
| 移動距離 | 21mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 20N |
| 外形 | 30x17x8.5mm |
| 重量 | 20g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-1740 |
|---|---|
| 移動距離 | 26mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 40x17x8.5mm |
| 重量 | 26g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-1750 |
|---|---|
| 移動距離 | 31mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 50x17x8.5mm |
| 重量 | 32g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-1760 |
|---|---|
| 移動距離 | 41mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 60x17x8.5mm |
| 重量 | 38g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-1770 |
|---|---|
| 移動距離 | 46mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 70x17x8.5mm |
| 重量 | 45g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-1780 |
|---|---|
| 移動距離 | 51mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 80x17x8.5mm |
| 重量 | 51g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
SLC-24シリーズ
SLC-24シリーズは、SLC-17同様に高い安定性と高精度に優れ、幅24ｍｍ、高さ10.5mmの外形で最大123mmまでの移動距離をラインアップに取り揃えております。
主な仕様
| 種類 | SLC-24シリーズ |
|---|---|
| ストローク | 16〜123mm |
| ステージ長 | 30〜180mm |
| エンコーダ分解能 | 1nm |
| ステージ幅x高さ | 24x10.5mm |
| 推力 | 3.5N |
| 最大耐荷重 | 20〜30N |
| 最高速度 | 20mm/s |
| 真空対応 | HV・UHV |
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主な仕様
| 型番 | SLC-2430 |
|---|---|
| 移動距離 | 16mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 30x24x10.5mm |
| 重量 | 36g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-2445 |
|---|---|
| 移動距離 | 29mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 45x24x10.5mm |
| 重量 | 54g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-2460 |
|---|---|
| 移動距離 | 35mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 36x24x10.5mm |
| 重量 | 72g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-2475 |
|---|---|
| 移動距離 | 49mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 75x24x10.5mm |
| 重量 | 90g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-2490 |
|---|---|
| 移動距離 | 63mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 90x24x10.5mm |
| 重量 | 108g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-24105 |
|---|---|
| 移動距離 | 69mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 105x24x10.5mm |
| 重量 | 126g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-24120 |
|---|---|
| 移動距離 | 83mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 120x24x10.5mm |
| 重量 | 144g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-24150 |
|---|---|
| 移動距離 | 103mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 150x24x10.5mm |
| 重量 | 180g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | SLC-24180 |
|---|---|
| 移動距離 | 123mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 180x24x10.5mm |
| 重量 | 216g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
CLSシリーズ
CLSシリーズは、取付寸法を統一し多軸システムに構築し易いステージです。Stick-Slipのピエゾドライブユニットを取り外し可能な設計としました。ピエゾドライブユニットが交換可能なため、簡単なメンテナンスと高い保守性を実現しました。
3種類の幅が異なるステージをご用意しております。
主な仕様
| 種類 | CLSシリーズ |
|---|---|
| ストローク | 21〜103mm |
| ステージ長 | 32〜152mm |
| エンコーダ分解能 | 1nm |
| ステージ幅 | 32〜92mm |
| 推力 | 3.5N |
| 最大耐荷重 | 20〜30N |
| 最高速度 | 20mm/s |
| 真空対応 | HV・UHV |
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主な仕様
| 型番 | CLS-3232 |
|---|---|
| 移動距離 | 21mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 32x32x11mm |
| 重量 | 33g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 製品名 | CLS-3252 |
|---|---|
| 移動距離 | 31mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 32x52x11mm |
| 重量 | 54g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | CLS-3282 |
|---|---|
| 移動距離 | 51mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 32x82x11mm |
| 重量 | 87g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | CLS-5252 |
|---|---|
| 移動距離 | 31mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.0N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 52x52x14mm |
| 重量 | 94g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | CLS-5282 |
|---|---|
| 移動距離 | 51mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.0N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 52x82x14mm |
| 重量 | 157g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
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主な仕様
| 型番 | CLS-9292 |
|---|---|
| 移動距離 | 63mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N |
| 耐荷重 | 20N |
| 外形 | 92x92x17mm |
| 重量 | 357g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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主な仕様
| 型番 | CLS-92152 |
|---|---|
| 移動距離 | 103mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N |
| 耐荷重 | 20N |
| 外形 | 92x152x17mm |
| 重量 | 591g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
SLシリーズ
SLシリーズは、最小11x11x5.2mmと超コンパクトな極小ピエゾステージです。
オープンループ制御ではありますが、設置面積が狭い場所でも長いストロークでの移動が可能です。
3種類のストロークをご用意しております。
主な仕様
| 種類 | SLシリーズ |
|---|---|
| 移動距離 | 4.5mm〜16mm |
| ステージ長 | 11mm〜31mm |
| 推力 | 1.6N |
| ステージ幅x高さ | 11x5.2mm |
| 最大耐荷重 | 1N |
| 真空対応 | HV・UHV |
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CLLシリーズ
CLLシリーズは、光学ベンチとキャリアで構成されています。
Stick-Slipドライブはキャリアに内蔵していますので、1本の光学ベンチに複数のキャリアを配置して、電動化された光学ベンチセットアップとしてご使用いただくことが可能です。
幅42ｍｍのレールとキャリアで構成され、最長619mmの移動が可能です。
エンドストップや除振台の固定穴に適合したアダプタなどのオプションも充実しています。
CLL42は、幅42mmの光学ベンチにキャリアを搭載し、最長1410mmまでのストロークを実現したステージです。
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主な仕様
| 型番 | CLL42 |
|---|---|
| 移動距離 | 499〜619mm |
| レール長 | 160〜680mm |
| 耐荷重 | 30N |
| 推力 | 水平方向：5N |
| キャリア外形 | 60x16mm（オープンループ用） |
| 最大速度 | 15mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ） 4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±100nm |
CLL-12は、245mmレールを備えたクローズドループステージです。160mmの移動距離と交換可能なドライブユニットを備えています。
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | CLL12 |
|---|---|
| 移動距離 | 35～460mm |
| レール長 | - |
| 耐荷重 | 30N |
| 推力 | 水平方向:3N |
| キャリア外形 |
27×13mm(オープンループ用) 27×85mm(クローズドループ用) |
| 最大速度 | 10mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm(Sセンサ) 4nm(Lセンサ) |
| 繰返し精度（Closed loop時） | - |
