計測機器
ナノプローバ
ナノプローバ
SmarAct社のナノプローバSMARPROBE-LXは、ナノメートル分解能のクローズドループプロービングを高い効率と安定性を実現するために開発されました。
最大8個のプローブを配置することができ、サンプルステージに固定されたサンプルの分析を行う事ができます。
応用例としては、5nmトランジスタなどの故障解析用のSEMや大型サンプルの大気プロービング用に光学顕微鏡に活用できます。
特 徴
1）分解能1nmでのクローズドループ制御
2）アクティブな位置ホールド
3）広い移動範囲と低い熱ドリフト
4）30x30mm全域でのプロービング
5）高速EBAC/EBICイメージング
6）オールインワンのユーザーインターフェース
7）全てのプローブの自動アプローチとアライメント
8）SEM像でのポイント＆クリックナビゲーション
製品構成
SMARPROBE SP4＆SP8
SMARPROBE SP4＆SP8は、4個又は8個のマニピュレータを搭載したSmarAct社の標準ナノプローバです。
各マニピュレータには3軸ステージが用いられており、高精度なプロービングを実現するためステージにはナノメートル分解能の光学式エンコーダが内蔵されています。
専用ソフトウエアで最大4つのSEMサンプルスタブのロード機能により、操作性が簡易になりナノプロービングタスクのスループットが向上します。
SMARPROBEナノプロービングシステムは、様々なFIB,SEM,光学顕微鏡と互換性があるため既存のプロービングシステムへの改造にも対応します。
また、2接点EBIC/EBACから4点および6点プロービング測定までの電気的特性評価を可能にし、故障解析ラボにとって不可欠なツールとしてお役立ていただけます。
| 製品名 | SMARPROBE SP4＆SP8 |
|---|---|
| マニピュレータ及びプローブマウント | XYZ軸（クローズドループ制御） |
| マニピュレータ数 | 4又は8 |
| サンプルステージ | XYZ軸（クローズドループ制御） |
| プロービング範囲 | 25x25mm |
| スキャン範囲(XYZ軸) | 3μm |
| 熱ドリフト | 10nm/min |
SMARPROBE SP4LX＆SP8LX
SMARPROBE SP4LX＆SP8LXは、ドリフトの低減とスキャン範囲の拡大を目的に開発されました。
SMARPROBE LXは、プロービング中における熱ドリフトと振動の影響を最小限に抑えるために、アクティブ温度制御とXYZ軸にスキャン範囲の拡張機能が装備されています。
Lエクステンションは、複数のセンサを備えたクローズドループの温度制御機能です。このオプションにより熱ドリフトを最小限に抑えることが可能です。
| 製品名 | SMARPROBE SP4LX＆SP8LX |
|---|---|
| Lエクステンション/熱ドリフト | 1nm/min |
| スキャン範囲(XYZ軸) | 10μm |
プローブホルダ
SMARPROBEのプローブホルダは、SMARPROBEタッチコントローラで制御されます。
電子ビームを照射する前でもプローブを自動的にアプローチできるためナノプロービングが簡単かつ迅速に行う事ができます。
クローズドループ制御とPythonスクリプトを組み合わせた自動プローブアプローチにより、ナノプローブタスクを自動化できます。
さらに低ノイズ総合電流アンプにより低電子ビーム電流（数pA）でも高速EBACイメージングを実行できるため、サンプル保護と時間の短縮が可能です。
特 徴
1）最大８つのプローブを同時にアプローチ可能
2）低ノイズEBAC/EBICイメージング
3）完全なソフトウエア制御
4）電圧バイアスとロックインEBICをサポート
5）SEM像によるライブミキシング
6）EBIRChが利用可能
SMARPROBEソフトウエア
SMARPROBEソフトウエアは、マウスを数回クリックするだけで電気プローブ測定を実行できるGUIです。SMARPROBEを直感的な操作でご使用いただくために、SMARPROBEには専用GUIが用いられています。
特 徴
1）Image-on-Moveによるカーボンの蓄積を削減
2）CADナビゲーション
3）Pythonスクリプトによるカスタマイズされたアトマゼーション
4）安全なアプローチ機能
5）グローバル座標とローカル座標を切り替え可能
6）グループ移動機能
7）チップとサンプル交換のための位置変換
SMARPROBE Etch
SMARPROBE Etchは、自動化された独自のエッジングステーションでナノスコピックチップを低価格で短時間に制作することができます。
SMARPROBE Etchは、制御ソフトウエアでエッジングプロセスを設定しますので、希望のプローブ形状と先端のシャープさを設定することができます。
また、様々なタスクに最適なチップを製作することもできます。
エッジングプロセスの進行状況の追跡と高速ドロップオフ検出により、希望する先端半径で製作することができます。
| 製品名 | SMARPROBE Etch |
|---|---|
| 最小先端半径 | 8nm |
| 先端半径調整 | 可 |
| 先端形状調整 | 可 |
| エッジング時間 | 10分 |
| 先端材料 | タングステン |
