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モジュラーシステム（多軸ステージシステム）
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モジュラーシステム
SmarAct社のモジュラーシステムは、幾つかのリニアステージと回転ステージ、ゴニオステージに互換性を持たせ、お客様が簡単に複合システムを構築できるようにデザインしたモデルをご提供しております。
また、複雑なシステムを構築する場合に便利なベースプレートやスペーサ、ブラケットなど様々なアクセサリもご用意しております。
対応ステージ
こちらのステージは、モジュラーシステムに対応しており、複合システム構築が容易に実現出来ます。
リニアステージ：CLSシリーズ
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
| 型番 | CLS-3232 |
|---|---|
| 移動距離 | 21mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 32x32x11mm |
| 重量 | 33g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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| 型番 | CLS-3252 |
|---|---|
| 移動距離 | 31mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 32x52x11mm |
| 重量 | 54g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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| 型番 | CLS-3282 |
|---|---|
| 移動距離 | 51mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 32x82x11mm |
| 重量 | 87g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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| 型番 | CLS-5252 |
|---|---|
| 移動距離 | 31mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.0N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 52x52x14mm |
| 重量 | 94g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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| 型番 | CLS-5282 |
|---|---|
| 移動距離 | 51mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.0N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 52x82x14mm |
| 重量 | 157g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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| 型番 | CLS-92152 |
|---|---|
| 移動距離 | 103mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N |
| 耐荷重 | 20N |
| 外形 | 92x152x17mm |
| 重量 | 591g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
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| 型番 | CLS-9292 |
|---|---|
| 移動距離 | 63mm |
| 推力 | 水平方向：3.5N |
| 耐荷重 | 20N |
| 外形 | 92x92x17mm |
| 重量 | 357g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
ロータリーステージ：SRシリーズ
SR-3211は、CLS-32シリーズのリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SR-3211 |
|---|---|
| 移動角度 | 360° |
| 推力 | 2Ncn |
| 耐荷重 | 3N |
| 外形 | 32x32x11mm |
| 重量 | 35kg |
| 最大速度 | 15°/s |
| 分解能（Closed loop時） | 25μ° |
| アパチャー | - |
SR-5014は、CLSシリーズのリニアステージやCGOゴニオステージと簡単に組み立てできるように設計されています。高真空のオプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SR-5014 |
|---|---|
| 移動角度 | 360° |
| 推力 | 5Ncn |
| 耐荷重 | 20N |
| 外形 | 50x50x14mm |
| 重量 | 100kg |
| 最大速度 | 30°/s |
| 分解能（Closed loop時） | 15μ° |
| アパチャー | 8mm |
Z軸ステージ：CHSシリーズ
CHS-3232-1D-5は、高耐荷重でありながらコンパクトなZ軸ステージです。
分離型ドライブモジュールを採用し、耐荷重5N、移動ストローク5mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | CHS-3232-1D-5 |
|---|---|
| 移動距離 | 5mm |
| 最大耐荷重 | 5N |
| 外形 | 32x32x32mm |
| 重量 | 100kg |
| 最大速度 | 5mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
CHS-5237-1D-10は、分離型ドライブモジュールを搭載した耐荷重10Nで移動ストローク10mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | CHS-5237-1D-10 |
|---|---|
| 移動距離 | 10mm |
| 最大耐荷重 | 10N |
| 外形 | 52x52x37mm |
| 重量 | 270kg |
| 最大速度 | 2mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
ゴニオステージ：CGOシリーズ
CGO-60.5は、60.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
CLS-52シリーズと組み合わせたり、CGO-77.5の上に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心に形成することが簡単にできます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | CGO-60.5 |
|---|---|
| 移動角度 | ±5° |
| 推力 | 30Ncn |
| 耐荷重 | 5N |
| 外形 | 50x50x17mm |
| 回転半径 | 60.5mm |
| 重量 | 140kg |
| 最大速度 | 4°/s |
| 分解能（Closed loop時） | 2μ°（Sセンサ）、8μ°（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±100μ° |
CGO-77.5は、77.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
CLS-52シリーズと組み合わせたり、CGO-60.5の下に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心に形成することが簡単にできます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | CGO-77.5 |
|---|---|
| 移動角度 | ±5° |
| 推力 | 38Ncn |
| 耐荷重 | 5N |
| 外形 | 50x50x17mm |
| 回転半径 | 77.5mm |
| 重量 | 140kg |
| 最大速度 | 4°/s |
| 分解能（Closed loop時） | 2μ°（Sセンサ）、8μ°（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±100μ° |
アクセサリ
ベースプレート
ベースプレートは、ステージを光学ベンチやブレッドボードに簡単に取り付けするためのプレートで、プレートにはステージを取り付ける穴に加えてケーブルを押さえるクランパを取り付ける穴もあります。
スペーサ
スペーサは、ステージ対応した外形を持った各種サイズが用意されています。
スペーサは、ブレッドボードに取り付けたり、ステージの上に取り付けることができます。
ブラケット
ブラケットは、ステージを垂直に固定しZ軸としてご利用される時に使用します。ブラケットは水平ステージの上またはベースプレートに取り付けることができ、SLCシリーズ、CLSシリーズ、回転ステージに対応した幾つかの種類をご用意しております。
アダプタプレート
水平ステージと回転ステージの組み合わせやブラケットと回転ステージを取り付ける場合に必要なアクセサリです。
アダプタプレートは、ご使用になるステージによって幾つかの種類をご用意しております。
定荷重バネ
定荷重バネは、ステージを垂直に取り付ける時の静的荷重を持たせる場合に使用します。
垂直に取り付けるステージとブラケットに固定可能です。
ケーブルクランパ
ケーブルクランパは、ステージケーブルをベースプレートに固定するためのクランパです。 ケーブル数に応じてサイズの異なるクランパをご用意しております。
