精密ステージ
- 特殊ステージ（極低温対応ステージ）
- 精密ステージ一覧開く
極低温対応ステージ（特殊ステージ）
- 特殊ステージ一覧開く
-
- 一覧
- 極低温対応ステージ
- 非磁性対応ステージ
- 超高真空対応ステージ
- エアーベアリングステージ
極低温対応ステージ
SmarAct社では、mKレベルの極低温環境に対応したピエゾステージの発売を開始いたします。
極低温に対応したステージは、SLCシリーズの特殊バージョンとしてラインアップされており、コンパクトなデザインになっております。
他のステージ同様にStick-Slipドライブを用い、ベースプレートにはチタンを使用し、高精度ベアリングにソリッドステートコーティングを施したドライな潤滑剤を使用しております。超高真空に対応したオプションもご用意しております。
極低温システム
SmarAct社では、極低温対応のリニアステージや回転ステージを使ったシステムをご提供しております。
ベースプレートとXYZステージのトッププレートをケーブルで接続し、最適な熱伝導を実現します。
極低温リニアステージ
SLCシリーズ
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-1720 |
|---|---|
| 移動距離 | 12mm |
| 推力（水平） | 3.5N |
| 推力（垂直） | 1.5N |
| 耐荷重 | 10N |
| 外形 | 22x17x8.5mm |
| 重量 | 13g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-1730 |
|---|---|
| 移動距離 | 21mm |
| 推力（水平） | 3.5N |
| 推力（垂直） | 1.5N |
| 耐荷重 | 20N |
| 外形 | 30x17x8.5mm |
| 重量 | 20g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-1740 |
|---|---|
| 移動距離 | 26mm |
| 推力（水平） | 3.5N |
| 推力（垂直） | 1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 40x17x8.5mm |
| 重量 | 26g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-1750 |
|---|---|
| 移動距離 | 31mm |
| 推力（水平） | 3.5N |
| 推力（垂直） | 1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 50x17x8.5mm |
| 重量 | 32g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-1760 |
|---|---|
| 移動距離 | 41mm |
| 推力（水平） | 3.5N |
| 推力（垂直） | 1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 60x17x8.5mm |
| 重量 | 38g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-1770 |
|---|---|
| 移動距離 | 46mm |
| 推力（水平） | 3.5N |
| 推力（垂直） | 1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 70x17x8.5mm |
| 重量 | 45g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-1780 |
|---|---|
| 移動距離 | 51mm |
| 推力（水平） | 3.5N |
| 推力（垂直） | 1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 80x17x8.5mm |
| 重量 | 51g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-2430 |
|---|---|
| 移動距離 | 16mm |
| 推力（水平） | 3.5N |
| 推力（垂直） | 1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 30x24x10.5mm |
| 重量 | 36g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-2445 |
|---|---|
| 移動距離 | 29mm |
| 推力（水平） | 3.5N |
| 推力（垂直） | 1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 45x24x10.5mm |
| 重量 | 54g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-2460 |
|---|---|
| 移動距離 | 35mm |
| 推力（水平） | 3.5N |
| 推力（垂直） | 1.5N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 60x24x10.5mm |
| 重量 | 72g |
| 最大速度 | 20mm/s |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
SLTステージ
主な仕様
| 型番 | SLT-1213 |
|---|---|
| 移動距離 | 5mm |
| 推力（水平） | 1N |
| 耐荷重 | 0.35N |
| 外形 | 13x12x6.5mm |
| 最大速度 | 1mm/s@4K, 5mm/s@300K |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
Closed-Loopシリーズ
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-2430-F |
|---|---|
| 移動距離 | 16mm |
| 推力（水平） | 2N |
| 推力（垂直） | 1N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 30x28x14mm |
| 重量 | 60g |
| 最大速度 | 1mm/s@4K, 20mm/s@300K |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-2445-F |
|---|---|
| 移動距離 | 29mm |
| 推力（水平） | 2N |
| 推力（垂直） | 1N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 45x28x14mm |
| 重量 | 80g |
| 最大速度 | 1mm/s@4K, 20mm/s@300K |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-2460-F |
|---|---|
| 移動距離 | 35mm |
| 推力（水平） | 2N |
| 推力（垂直） | 1N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 60x28x14mm |
| 重量 | 110g |
| 最大速度 | 1mm/s@4K, 20mm/s@300K |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SLC-2475-F |
|---|---|
| 移動距離 | 49mm |
| 推力（水平） | 2N |
| 推力（垂直） | 1N |
| 耐荷重 | 30N |
| 外形 | 75x28x14mm |
| 重量 | 137.5g |
| 最大速度 | 1mm/s@4K, 20mm/s@300K |
| オプション | 高真空・超高真空・非磁性 |
極低温回転ステージ
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
極低温チルトステージ
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
