株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

精密ステージ

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Z軸ステージ(ロングレンジピエゾステージ)

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Z軸ステージ

Z軸ステージ

SmarAct社では、最大8kgの耐荷重に対応したZ軸専用のCHS/SHLシリーズをラインアップに追加しました。
CHL/SHLシリーズは、コンパクトな設計を維持しながら、独立したガイドレールとフィードバックセンサによる制御により高い分解能での動作を行うことができます。


CHSシリーズ

CHS-3232-01.jpg
CHS-3232-02.jpg

CHS-3232-1D-5は、高耐荷重でありながらコンパクトなZ軸ステージです。
分離型ドライブモジュールを採用し、耐荷重5N、移動ストローク5mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております

CHS-3232図面 CHS-3232図面拡大
*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CHS-3232図面拡大

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 CHS-3232-1D-5
移動距離 5mm
最大耐荷重 5N
外形 32x32x32mm
重量 100g
最大速度 5mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサ)、4nm(Lセンサ)
繰返し精度(Closed loop時) ±40nm
CHS-5237-01
CHS-5237-02

CHS-5237-1D-10は、分離型ドライブモジュールを搭載した耐荷重10Nで移動ストローク10mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。

CHS-5237図面 CHS-5237図面拡大
*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CHL-5237図面拡大

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 CHS-5237-1D-10
移動距離 10mm
最大耐荷重 10N
外形 52x52x37mm
重量 270g
最大速度 2mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサ)、4nm(Lセンサ)
繰返し精度(Closed loop時) ±40nm
SHL-1D20N

CHS-9257-1D-15は、長ストロークなZ軸ステージです。
分離型ドライブモジュールを採用し、耐荷重15N、移動ストローク20mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。

CHS-9257図面 CHS-9257図面拡大
*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SHL-1D20N図面拡大

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 CHS-9257-1D-15
移動距離 20mm
最大耐荷重 15N
外形 92x92x57mm
重量 935g
最大速度 2mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサ)、4nm(Lセンサ)
繰返し精度(Closed loop時) ±40nm

SHLシリーズ

SHL-1D80N

SHL-1D80N-1は、耐荷重80Nで移動ストローク1mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。

SHL-1D80N図面 SHL-1D80N図面拡大
*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SHL-1D80N図面拡大

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 SHL-1D80N-1
移動距離 1mm
最大耐荷重 80N
外形 41x86x50mm
重量 340g
最大速度 1mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサ)、4nm(Lセンサ)
繰返し精度(Closed loop時) ±40nm

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