株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

フィジックステクノロジーは、ピエゾステージをはじめとする位置決め機器や、光学的手法を用いた計測技術を専門とした企業です。

047-370-8600

精密ステージ・測定器(精密ステージ:ピエゾステージ製品)


CHL-5237

CHL-5237

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

CHL-5237

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

CHS-5237-1D10N-10は、分離ドライブ型モジュールを搭載した耐荷重10Nで移動ストローク10mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。

主な仕様

移動距離 10mm 耐荷重 10N
外形 52x52x37mm 重量 270g
最大速度 4mm/s 分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー)
繰返し精度(Closed loop時) 100nm(Sセンサー), 200nm(Lセンサー)

SHL-1D20N

SHL-1D20N

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SHL-1D20N

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SHL-1D20N-10は、耐荷重20Nで移動ストローク10mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。

主な仕様

移動距離 10mm 耐荷重 20N
外形 63x75x50mm 重量 400g
最大速度 5mm/s 分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー)
繰返し精度(Closed loop時) 100nm(Sセンサー), 200nm(Lセンサー)

SHL-1D80N

SHL-1D80N

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SHL-1D80N

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SHL-1D80N-1は、耐荷重80Nで移動ストローク1mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。

主な仕様

移動距離 1mm 耐荷重 80N
外形 41x86x50mm 重量 340g
最大速度 1mm/s 分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー)
繰返し精度(Closed loop時) 100nm(Sセンサー), 200nm(Lセンサー)

SHL-3D5N

SHL-3D5N

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SHL-3D5N

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SHL-3D5N-5は、耐荷重5N、移動ストローク3mmの3DoFステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。

主な仕様

移動距離 3mm 耐荷重 5N
外形 100x140x40mm 重量 650g
最大速度 5mm/s 分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー)
繰返し精度(Closed loop時) 100nm(Sセンサー), 200nm(Lセンサー)

トップへ戻る