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*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
CHS-5237-1D10N-10は、分離ドライブ型モジュールを搭載した耐荷重10Nで移動ストローク10mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動距離 | 10mm | 耐荷重 | 10N |
---|---|---|---|
外形 | 52x52x37mm | 重量 | 270g |
最大速度 | 4mm/s | 分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) |
繰返し精度(Closed loop時) | 100nm(Sセンサー), 200nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SHL-1D20N-10は、耐荷重20Nで移動ストローク10mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動距離 | 10mm | 耐荷重 | 20N |
---|---|---|---|
外形 | 63x75x50mm | 重量 | 400g |
最大速度 | 5mm/s | 分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) |
繰返し精度(Closed loop時) | 100nm(Sセンサー), 200nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SHL-1D80N-1は、耐荷重80Nで移動ストローク1mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動距離 | 1mm | 耐荷重 | 80N |
---|---|---|---|
外形 | 41x86x50mm | 重量 | 340g |
最大速度 | 1mm/s | 分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) |
繰返し精度(Closed loop時) | 100nm(Sセンサー), 200nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SHL-3D5N-5は、耐荷重5N、移動ストローク3mmの3DoFステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動距離 | 3mm | 耐荷重 | 5N |
---|---|---|---|
外形 | 100x140x40mm | 重量 | 650g |
最大速度 | 5mm/s | 分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) |
繰返し精度(Closed loop時) | 100nm(Sセンサー), 200nm(Lセンサー) |
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