精密ステージ
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Z軸ステージ（ロングレンジピエゾステージ）
Z軸ステージ
SmarAct社では、最大8kgの耐荷重に対応したZ軸専用のCHS/SHLシリーズをラインアップに追加しました。
CHL/SHLシリーズは、コンパクトな設計を維持しながら、独立したガイドレールとフィードバックセンサによる制御により高い分解能での動作を行うことができます。
CHSシリーズ
CHS-3232は、高耐荷重でありながらコンパクトなZ軸ステージです。
分離型ドライブモジュールを採用し、耐荷重5N、移動ストローク5mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | CHS-3232 |
|---|---|
| 移動距離 | 5mm |
| 最大耐荷重 | 5N |
| 外形 | 32x32x32mm |
| 重量 | 100g |
| 最大速度 | 5mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
CHS-5237は、分離型ドライブモジュールを搭載した耐荷重10Nで移動ストローク10mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | CHS-5237 |
|---|---|
| 移動距離 | 10mm |
| 最大耐荷重 | 10N |
| 外形 | 52x52x37mm |
| 重量 | 270g |
| 最大速度 | 2mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
CHS-9257は、長ストロークなZ軸ステージです。
分離型ドライブモジュールを採用し、耐荷重15N、移動ストローク20mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | CHS-9257 |
|---|---|
| 移動距離 | 20mm |
| 最大耐荷重 | 15N |
| 外形 | 92x92x57mm |
| 重量 | 935g |
| 最大速度 | 2mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
SHLシリーズ
SHL-1D80N-1は、耐荷重80Nで移動ストローク1mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | SHL-1D80N-1 |
|---|---|
| 移動距離 | 1mm |
| 最大耐荷重 | 80N |
| 外形 | 41x86x50mm |
| 重量 | 340g |
| 最大速度 | 1mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40nm |
