精密ステージ
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ゴニオステージ(ロングレンジピエゾステージ)

ゴニオステージ
SmarAct社では2つの回転半径を持つゴニオステージを用意しています。
コンパクトで正確なスイベル動作が必要なアプリケーションに最適です。
分離型ドライブモジュールを採用していますので、回転中心を調整した後のサービス時でもステージを取り外す必要がありません。
CGO-60.5は、60.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
CLS-52シリーズと組み合わせたり、CGO-77.5の上に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心に形成することが簡単にできます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | CGO-60.5 |
|---|---|
| 移動角度 | ±5° |
| 推力 | 30Ncn |
| 耐荷重 | 5N |
| 外形 | 50x50x17mm |
| 回転半径 | 60.5mm |
| 重量 | 140kg |
| 最大速度 | 4°/s |
| 分解能(Closed loop時) | 2μ°(Sセンサ)、8μ°(Lセンサ) |
| 繰返し精度(Closed loop時) | ±100μ° |
CGO-77.5は、77.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
CLS-52シリーズと組み合わせたり、CGO-60.5の下に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心に形成することが簡単にできます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | CGO-77.5 |
|---|---|
| 移動角度 | ±5° |
| 推力 | 38Ncn |
| 耐荷重 | 5N |
| 外形 | 50x50x17mm |
| 回転半径 | 77.5mm |
| 重量 | 140kg |
| 最大速度 | 4°/s |
| 分解能(Closed loop時) | 2μ°(Sセンサ)、8μ°(Lセンサ) |
| 繰返し精度(Closed loop時) | ±100μ° |

