- 精密ステージ・測定器一覧
- 精密ステージ
- 多軸ステージシステム
- レーザー干渉変位計
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SGO-60.5は、60.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
CLS-52シリーズと組み合わせたり、SGO-77.5の上に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心を形成することが簡単にできます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動角度 | ±5° | 推力 | 20Ncm |
---|---|---|---|
耐荷重 | 5N | 回転半径 | 60.5mm |
外形 | 50x50x17mm | 重量 | 140g |
最大速度 | 4°/s | 分解能(Closed loop時) | 0.03μ°(Sセンサー), 0.12μ°(Lセンサー) |
繰返し精度(Closed loop時) | 0.12μ°(Sセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SGO-77.5は、77.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
CLS-52シリーズと組み合わせたり、SGO-60.5の下に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心を形成することが簡単にできます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております
● 主な仕様
移動角度 | ±5° | 推力 | 20Ncm |
---|---|---|---|
耐荷重 | 5N | 回転半径 | 77.5mm |
外形 | 50x50x17mm | 重量 | 140g |
最大速度 | 4°/s | 分解能(Closed loop時) | 0.03μ°(Sセンサー), 0.12μ°(Lセンサー) |
繰返し精度(Closed loop時) | 0.12μ°(Sセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SGO-93.5は、新しくラインナップに追加された93.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
回転中心まで十分な距離がありますので、ゴニオステージの上にサブステージを取り付ける場合に適しております。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動角度 | ±5° | 推力 | 20Ncm |
---|---|---|---|
耐荷重 | 5N | 回転半径 | 93.5mm |
外形 | 50x50x17mm | 重量 | 140g |
最大速度 | 4°/s | 分解能(Closed loop時) | 0.03μ°(Sセンサー), 0.12μ°(Lセンサー) |
繰返し精度(Closed loop時) | 0.12μ°(Sセンサー) |
▶ 商品詳細はこちら