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ロータリーステージ- ピエゾステージ -
SmarAct社では、回転ステージにもStick-Slipドライブを採用しており、小型なロータリーステージや中空ステージなど、様々なラインナップをご用意しております。
全ての回転ステージが360°リミット無しで制御され、フィードバックセンサを内蔵することが可能です。
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SR-1908は、SmarAct社の回転ステージで最も小型なオープンループ専用のステージです。
ステンレスベアリングと7mmのアパチャーを持ち、狭いスペースでのご利用に最適です。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 0.5Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 5N | 外形 | 24.7x20x8.5mm |
| 重量 | 13g | 最大速度 | 45°/s |
| アパチャーサイズ | 7mm |
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SR-2013は、クローズドループ対応の最軽量回転ステージです。
セラミックベアリングにより高精度と低い偏心を実現しています。
超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 0.5Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 3N | 外形 | 22.5x20x10.2mm |
| 重量 | 11g | 最大速度 | 45°/s |
| 分解能（Closed loop時） | 25μ° |
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SR-2812は、9mmのアパチャーをもつクローズドループ対応の小型回転ステージです。
セラミックベアリングにより高精度と低い偏心を実現しています。
超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 3Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 3N | 外形 | 37.5x30x12mm |
| 重量 | 35g | 最大速度 | 15°/s |
| アパチャーサイズ | 9mm | 分解能（Closed loop時） | 25μ° |
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SR-3211は、CLS-32シリーズのリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 2Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 3N | 外形 | 32x32x11mm |
| 重量 | 35g | 最大速度 | 15°/s |
| 分解能（Closed loop時） | 25μ° |
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SR-4011は、ステンレスベアリングにより高い剛性をもった回転ステージです。
回転面が比較的大きいにも関わらず、厚みは薄く設計されています。
高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 2Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 10N | 外形 | 40x40x11mm |
| 重量 | 60g | 最大速度 | 15°/s |
| アパチャーサイズ | 9mm | 分解能（Closed loop時） | 15μ° |
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SR-4513は、ステンレスベアリングにより高い剛性をもった回転ステージです。
9mmのアパチャーを設けてあります。
高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 5Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 20N | 外形 | 45x45x12.5mm |
| 重量 | 89g | 最大速度 | 15°/s |
| アパチャーサイズ | 8mm | 分解能（Closed loop時） | 15μ° |
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SR-5014は、CLSシリーズのリニアステージやSGOゴニオステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 5Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 20N | 外形 | 50x50x14mm |
| 重量 | 100g | 最大速度 | 15°/s |
| 分解能（Closed loop時） | 15μ° |
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SR-5714は、アパチャー25mmをもち光学系のアライメントなど幅広いアプリケーションにご利用いただけます。
高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 7Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 25N | 外形 | 57x57x14mm |
| 重量 | 110g | 最大速度 | 9°/s |
| アパチャーサイズ | 25mm | 分解能（Closed loop時） | 15μ° |
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SR-5714Cは、セラミックベアリングを装着しており、アパチャー25mmもある回転ステージです。
超高真空や非磁性のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 7Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 25N | 外形 | 57x57x13.75mm |
| 重量 | 105g | 最大速度 | 9°/s |
| アパチャーサイズ | 25mm | 分解能（Closed loop時） | 15μ° |
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SR-7012は、30mmの大きなアパチャーがあり、高さが12mmと薄いため、多くのお客様にご利用いただいている回転ステージです。
高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 10Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 25N | 外形 | 70x70x12mm |
| 重量 | 100g | 最大速度 | 9°/s |
| アパチャーサイズ | 30mm | 分解能（Closed loop時） | 15μ° |
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SR-9219は、CLS-92のリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 10Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 25N | 外形 | 92x92x19mm |
| 重量 | 450g | 最大速度 | 9°/s |
| アパチャーサイズ | 25mm | 分解能（Closed loop時） | 15μ° |
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SR-9219Cは、CLS-92やMLS-92のリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
セラミックベアリングを用いており、超高真空や非磁性のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 10Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 25N | 外形 | 92x92x19mm |
| 重量 | 250g | 最大速度 | 9°/s |
| アパチャーサイズ | 25mm | 分解能（Closed loop時） | 15μ° |
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SR-12012は、SmarAct社のステージの中で最大径のアパチャーをもつ回転ステージです。
厚みは12mmと薄型を維持しながら120x120mmの設置面積を持っています。
高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
| 移動角度 | 360° | 推力 | 15Ncm |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 20N | 外形 | 120x120x12mm |
| 重量 | 320g | 最大速度 | 5°/s |
| アパチャーサイズ | 82mm | 分解能（Closed loop時） | 5μ° |
