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ヘキサポッドステージTriPod
TRIPODは、シリアルキネマティックとパラレルキネマティックを組み合わせたコンパクトでモジュール式のSmarAct社の新しい6軸ステージシステムです。
SmarPodはθzの回転範囲に制限がありますが、TRIPODは360°リミットなく回転することができます。
TRIPOD 52-6Dofは、CLS-52モジュラーシステムをベースに構築された6軸ステージシステムです。XY軸31mm、Z軸6mmの直線移動範囲に、θx軸20°、θy軸19°、更にθzは360°の回転範囲を持っています。高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | TRIPOD 52-6DoF |
|---|---|
| 移動距離 | X=31mm, Y=31mm, Z=6mm, θx=20°, θy=19°, θz=360° |
| 耐荷重 | 垂直：3N、水平：2.5N |
| 外形 | 90x90x79.5mm |
| 重量 | 490g |
| 分解能(Closed loop時) | 1nm、3μrad |
| 繰返し精度(Closed loop時) | ±50nm |
TRIPOD 92-6Dofは、CLS-92モジュラーシステムをベースに構築された6軸ステージシステムです。XY軸63mm、Z軸11mmの直線移動範囲に、θx軸31°、θy軸27°、更にθz軸は360°の回転範囲を持っています。高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
| 型番 | TRIPOD 92-6DoF |
|---|---|
| 移動距離 | X=63mm, Y=63mm, Z=11mm, θx=31°, θy=27°, θz=360° |
| 耐荷重 | 垂直:3.5N、水平:1.75N |
| 外形 | 142x142x94.35mm |
| 重量 | 1430g |
| 分解能(Closed loop時) | 1nm、3μrad |
| 繰返し精度(Closed loop時) | ±50nm |
TRIPOD 400-6DoFは、MLS-92122、MLL-400のリニアモータステージとMR-9224の回転ステージをベースに構築された6軸ステージシステムです。
高速移動や最大6kgまでの耐荷重に対応し、空気圧ブレーキにより電源オフ時も位置を安定して保持することができます。
トッププレートは中空や固定穴位置の変更も可能です。
主な仕様
| 型番 | TRIPOD 400-6DoF |
|---|---|
| 移動距離 | X=200mm, Y=200mm, Z=14mm, θx=6.5°, θy=7°, θz=360° |
| 耐荷重 | お問合せください |
| 外形 | 400x400x175mm |
| 重量 | 27500g |
