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極低温対応ステージ
SmarAct社の、ピエゾステージ極低温に対応したステージは、SLCシリーズの特殊バージョンとしてラインアップされており、コンパクトなデザインになっております。
非磁性対応ステージ
SmarAct社では非磁性環境に対応したピエゾステージをラインアップに取り揃えております。
ご要望に応じてリニアステージと回転ステージをご提供差し上げます。
超高真空対応ステージ
最大8kgの耐荷重に対応したZ軸専用のCHS/SHLシリーズは、独立したガイドレールとフィードバックセンサによる制御により高い分解能での動作を行います。
エアーベアリングステージ
フィジックステクノロジーでは、SmarAct社の小型ピエゾステージとの組み合わせに最適なエアーベアリングステージをご提供しております。
