振動計コントローラ

レーザ振動計PICOSCALE Vibrometerには、システムコントローラとステージコントローラがあります。
システムコントローラは、レーザ干渉変位計測を行うためのレーザ光の照射や干渉信号の検出さらに、干渉信号の振幅と周波数を処理します。

ステージコントローラには、XYZ軸のステージをクローズドループ制御し、加えてシェーカステージを駆動するためのパワー・アンプが搭載されています。

XYZスキャニングシステム

XYZスキャニングシステムは、センサヘッドを搭載し、サンプル上でレーザ光を走査するためのモジュールです。
コンパクトなハウジングにSmarAct社のクローズドループステージが内蔵されています。
最大移動範囲は20mm、再現性は50nmと高精度ステージユニットです。

様々なサンプルに適応するために、簡単に高さを調整できるように直径25mmのポールに取り付けられるようにデザインされています。

センサヘッド

レーザ振動計PICOSCALE Vibrometerは、PICOSCALEの中のC03センサヘッドを採用しています。

内蔵された対物レンズによって数μmのスポットサイズに集光します。

センサヘッドは、光ファイバを通してコントローラに接続されます。

シェーカステージ

シェーカステージは、測定対象物の周波数応答を割り出すために使用します。

シェーカステージは、高速ピエゾベースのアクチュエータで駆動され、最大1.5MHz までの広い周波数範囲に対応しています。

シングルポイント振動測定

レーザ振動計PICOSCALE Vibrometerは、最大3つの測定点の振動を測定することができます。

非接触測定
分解能1pmで最大2.5MHz(10MHzのサンプリングレート)の広い振動帯域幅
時間領域または周波数領域の振動解析
真空や極低温など様々な環境に対応
プラスチック、ガラス、金属、さらには水など、殆どの材料への応用が可能

ソフトウエア

レーザ振動計PICOSCALE Vibrometerには、2つのソフトウエアが付属されます。

コントロールソフトウエア

PCで操作するために簡単な操作で振動計測を行うことができます。

表示ソフトウエア

測定された振動データを解析するためのソフトウエアです。2Dまたは3Dによる結果表示に加え、測定したバイナリデータを別のソフトウエアで使用するためにエクスポート機能があります。

走査型イメージングモード振動測定

レーザ振動計PICOSCALE Vibrometerは、数μm〜数ｍｍサイズのマイクロメカニカル構造の振動を測定することが可能です。

高い水平分解能を有していますので、MEMS・センサ小型スピーカや、ベアリングやアクチュエータの振動モード視覚化にご利用いただけます。

測定された振動データから振動画像を再現することができます。