株式会社フィジックス テクノロジー　Physix Technology Inc.

精密ステージ

- ロングレンジピエゾステージ（リニアステージ）
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リニアステージ（ロングレンジピエゾステージ）

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リニアステージ

リニアステージ

SmarAct社のリニアステージは、コンパクトでありながらフィードバックセンサを内蔵しており、長ストロークの駆動距離と高分解能を持ち合わせています。
ストロークに応じて異なるモデルを用意しております。
SLCシリーズは、クロスローラベアリングを備えた高い剛性と優れた真直度を持ったリニアステージで、SLC−17とSLC−24の2種類の幅が用意されています。
CLSシリーズは、お客様が簡単にステージの組み立てが行えるように取付寸法を統一したリニアステージです。
SLシリーズは、最も小型なリニアステージで、SLLシリーズは、最長1mを超える長ストロークリニアステージです。

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SLC17シリーズ

SLC-17シリーズ

SLC-17シリーズは、数多くの実績を持つSmarAct社の代表的なリニアステージです。
高い安定性と高精度に優れ、幅17ｍｍ、高さ8.5mmとコンパクトながら、クローズドループ用のフィードバックセンサを内蔵することも可能です。

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主な仕様
種類 SLC-17シリーズ
ストローク 12〜51mm
ステージ長 20〜80mm
エンコーダ分解能 1nm
ステージ幅x高さ 17x8.5mm
推力 3.5N
最大耐荷重 10〜30N
最高速度 20mm/s
真空対応 HV・UHV

SLC-1720
SLC−1720 SLC−1720
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−1720
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-1720
移動距離 12mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 10N
外形 22x17x8.5mm
重量 13g
最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度(Closed loop時) ±40nm
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SLC-1730
SLC−1730 SLC−1730
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−1730
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-1730
移動距離 21mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 20N
外形 30x17x8.5mm
重量 20g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-1740
SLC−1740
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−1740
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-1740
移動距離 26mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 40x17x8.5mm
重量 26g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-1750
SLC−1750
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−1750
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-1750
移動距離 31mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 50x17x8.5mm
重量 32g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-1760
SLC−1760
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−1760
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-1760
移動距離 41mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 60x17x8.5mm
重量 38g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-1770
SLC−1770
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−1770
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-1770
移動距離 46mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 70x17x8.5mm
重量 45g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-1780
SLC−1780図面 SLC−1780図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−1780図面拡大
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-1780
移動距離 51mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 80x17x8.5mm
重量 51g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC24シリーズ

SLC-24シリーズ

SLC-24シリーズは、SLC-17同様に高い安定性と高精度に優れ、幅24ｍｍ、高さ10.5mmの外形で最大123mmまでの移動距離をラインアップに取り揃えております。

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主な仕様
種類 SLC-24シリーズ
ストローク 16〜123mm
ステージ長 30〜180mm
エンコーダ分解能 1nm
ステージ幅x高さ 24x10.5mm
推力 3.5N
最大耐荷重 20〜30N
最高速度 20mm/s
真空対応 HV・UHV

SLC-2430
SLC−2430
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−2430
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-2430
移動距離 16mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 30x24x10.5mm
重量 36g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-2445
SLC−2445
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−2445
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-2445
移動距離 29mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 45x24x10.5mm
重量 54g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-2460
SLC−2460
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−2460
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-2460
移動距離 35mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 36x24x10.5mm
重量 72g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-2475
SLC−2475
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−2475
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-2475
移動距離 49mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 75x24x10.5mm
重量 90g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-2490
SLC−2490
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−2490
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-2490
移動距離 63mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 90x24x10.5mm
重量 108g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-24105
SLC−24105
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−24105
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-24105
移動距離 69mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 105x24x10.5mm
重量 126g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-24120
SLC−24120
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−24120
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-24120
移動距離 83mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 120x24x10.5mm
重量 144g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-24150
SLC−24150
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−24150
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-24150
移動距離 103mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 150x24x10.5mm
重量 180g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLC-24180
SLC−24180
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SLC−24180
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SLC-24180
移動距離 123mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 180x24x10.5mm
重量 216g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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CLSシリーズ

CLSシリーズ

CLSシリーズは、取付寸法を統一し多軸システムに構築し易いステージです。Stick-Slipのピエゾドライブユニットを取り外し可能な設計としました。ピエゾドライブユニットが交換可能なため、簡単なメンテナンスと高い保守性を実現しました。
3種類の幅が異なるステージをご用意しております。

主な仕様
種類 CLSシリーズ
ストローク 21〜103mm
ステージ長 32〜152mm
エンコーダ分解能 1nm
ステージ幅 32〜92mm
推力 3.5N
最大耐荷重 20〜30N
最高速度 20mm/s
真空対応 HV・UHV
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CLS-3232
CLS-3232_03
CLS-3232
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-3232
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-3232
移動距離 21mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 32x32x11mm
重量 33g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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CLS-3252
CLS-3252_03
CLS-3252
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-3252
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
製品名 CLS-3252
移動距離 31mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 32x52x11mm
重量 54g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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CLS-3282
CLS-3282_03
CLS-3282
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-3282
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-3282
移動距離 51mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 32x82x11mm
重量 87g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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CLS-5252
CLS-5252_03
CLS-5252
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-5252
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-5252
移動距離 31mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.0N
耐荷重 30N
外形 52x52x14mm
重量 94g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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CLS-5282
CLS-5282_03
CLS-5282
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-5282
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-5282
移動距離 51mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.0N
耐荷重 30N
外形 52x82x14mm
重量 157g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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CLS-9292
CLS-9292_03
CLS-9292
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-9292
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-9292
移動距離 63mm
推力 水平方向：3.5N
耐荷重 20N
外形 92x92x17mm
重量 357g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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CLS-92152
CLS-92152_03
CLS-92152
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-92152
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-92152
移動距離 103mm
推力 水平方向：3.5N
耐荷重 20N
外形 92x152x17mm
重量 591g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
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SLシリーズ

SLシリーズ

SLシリーズは、最小11x11x5.2mmと超コンパクトな極小ピエゾステージです。
オープンループ制御ではありますが、設置面積が狭い場所でも長いストロークでの移動が可能です。
3種類のストロークをご用意しております。

主な仕様
種類 SLシリーズ
移動距離 4.5mm〜16mm
ステージ長 11mm〜31mm
推力 1.6N
ステージ幅x高さ 11x5.2mm
最大耐荷重 1N
真空対応 HV・UHV
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SL-0610
SL-0610_02 SL-0610図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SL-06
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SL-0610
移動距離 4.5mm
推力 水平方向：1.6N
耐荷重 1N
外形 11x11x5.2mm
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SL-0620
SL-0620
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SL-0620
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SL-0620
移動距離 11mm
推力 水平方向：1.6N
耐荷重 1N
外形 21x11x5.2mm
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SL-0630
SL-0630
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SL-0630
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 SL-0630
移動距離 16mm
推力 水平方向：1.6N
耐荷重 1N
外形 31x11x5.2mm
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CLLシリーズ

CLLシリーズ

CLLシリーズは、光学ベンチとキャリアで構成されています。
Stick-Slipドライブはキャリアに内蔵していますので、1本の光学ベンチに複数のキャリアを配置して、電動化された光学ベンチセットアップとしてご使用いただくことが可能です。
幅42ｍｍのレールとキャリアで構成され、最長619mmの移動が可能です。
エンドストップや除振台の固定穴に適合したアダプタなどのオプションも充実しています。

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CLL42

CLL42

CLL42は、幅42mmの光学ベンチにキャリアを搭載し、最長1410mmまでのストロークを実現したステージです。

CLL42図面 CLL42図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLL42図面拡大
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLL42
移動距離 99〜619mm
レール長 160〜680mm
耐荷重 30N
推力 水平方向：5N
キャリア外形 60x16mm（オープンループ用）
最大速度 15mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）、4nm（Lセンサ）
繰返し精度（Closed loop時） ±100nm
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