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ヘキサポッドステージSmarPod
SmarAct社では、自由度が高く高精度なヘキサホッドステージSmarPodをご提供しています。
SmarPodは、ソフトウエアにより回転中心となるピボットポイントを自由に変更でき、XYZ軸と2軸チルト軸、回転軸を備えた汎用性の高い6軸ステージシステムです。
円形のベースプレートの3箇所にステージが取り付けられた円形タイプと、3台のリニアステージの上に直交した3台のステージが取り付けられた平行タイプがあります。
光ファイバーの結合やマイクロアセンブリングなど、様々なアプリケーションでご利用いただいております。
SmarPod CLS-32は、EDUドライブユニットを搭載したCLSシリーズをベースとしたシステムです。EDUドライブ搭載ですので、ドライブユニットが交換可能で、長期間にわたってご利用いただけます。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SmarPod CLS-32 |
|---|---|
| 移動距離 | X=20mm、Y=20mm、Z=11mm、θx=22°、θy=25°、θz=38° |
| 耐荷重 | 垂直：5N、水平：2.5N |
| 外形 | φ124x54mm |
| 重量 | 520g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm、3μrad |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm |
SmarPod 70.42は、ラインアップの中で最も小型な円形タイプのヘキサポッドシステムです。
すべてのステージが直径70mmのベースプレートに収まっていながら、5〜10mmの移動距離を有しています。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SmarPod 70.42 |
|---|---|
| 移動距離 | X=11mm、Y=11mm、Z=6mm、θx=22°、θy=23°、θz=31° |
| 耐荷重 | 垂直：5N、水平：2.5N |
| 外形 | φ70x42mm |
| 重量 | 200g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm、3μrad |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±50 |
SmarPod 110.45は、中型の円形タイプのヘキサポッドシステムです。
移動範囲が広いため様々なご用途に対応いたします。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SmarPod 110.45 |
|---|---|
| 移動距離 | X=20mm、Y=20mm、Z=11mm、θx=23°、θy=26°、θz=38° |
| 耐荷重 | 垂直：5N、水平：2.5N |
| 外形 | φ110x45mm |
| 重量 | 410g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm、3μrad |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm |
SmarPod 225.75は、大型の円形タイプのヘキサポッドシステムです。
XY軸の移動範囲が40mmを超え、耐荷重は5Nまで対応いたします。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SmarPod 225.75 |
|---|---|
| 移動距離 | X=42mm、Y=42mm、Z=24mm、θx=24°、θy=27°、θz=41° |
| 耐荷重 | 垂直：5N、水平：2.5N |
| 外形 | φ225x75mm |
| 重量 | 2060g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm、3μrad |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm |
SmarPod P-SLC-17は、3台のリニアステージSLC-17の上に直交した3台のステージが取り付けられた平行タイプのヘキサポッドシステムです。
同等サイズの円形タイプと比べ、移動範囲が広いのが特徴です。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SmarPod P-SLC-17 |
|---|---|
| 移動距離 | X=50mm、Y=30、Z=10mm、θx=25°、θy=22°、θz=16° |
| 耐荷重 | 垂直：5N、水平：2.5N |
| 外形 | 110x70x67.4mm |
| 重量 | 680g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm、3μrad |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm |
SmarPod P-SLC-24は、3台のリニアステージSLC-24をベースとした中型の平行タイプのヘキサポッドシステムです。
ラインアップの中でも比較的移動範囲が広く、幅広い用途にご利用いただいているシステムです。高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SmarPod P-SLC-24 |
|---|---|
| 移動距離 | X=102mm、Y=62mm、Z=17mm、θx=33°、θy=33°、θz=36° |
| 耐荷重 | 垂直:5N、水平:2.5N |
| 外形 | 195x91x81mm |
| 重量 | 1890g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm、3μrad |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm |
SmarPod P-CLLは、CLLシリーズに３つのキャリアを搭載した超大型平行タイプのヘキサポッドシステムです。
X方向のCLLステージにY方向のSLCステージを載せて、X方向は最大1200mmの移動範囲のオプションが可能です。高真空オプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SmarPod P-CLL |
|---|---|
| 移動距離 | X=330mm、Y=62mm、Z=17mm、θx=33°、θy=33°、θz=36° |
| 耐荷重 | 垂直:4N、水平:2N |
| 外形 | 554x45x72mm |
| 重量 | 2900g |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm、3μrad |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±100nm |
