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精密ステージ

- 多軸ステージシステム(マイクロロボットSmarGon)
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マイクロロボット SmarGon

マイクロロボット SmarGon

マイクロロボットSmarGonシステムSmarGonは、回転ステージの上にシリアルキネマティックとパラレルキネマティックを組み合わせた6軸ステージシステムです。
先端子を中心に6軸が移動するような複雑な制御を可能にしたSmarGon制御システムを採用しMCS2コントローラと組み合わせてご利用いただけます。
移動範囲が広く自由度が高いため、放射光施設でのX線回折研究(XRD)アプリケーションでご利用いただけるように特別に設計されています。
先端には磁気サンプルホルダが取り付けられており、様々なサンプルのローディングを迅速に行うことができます。
またコンパクトなデザインのため、セルフシャドウイング効果を最小限に抑えることができます。


マイクロロボット SmarGon
マイクロロボット SmarGon

主な仕様
Travel range Sphere of Confusion Resolution of Motion Velocity
ω軸 360° 1μm 100μ° 180°/s
χ軸 0〜90° 7μm 20μ° 10°/s
Φ軸 360° 7μm 20μ° 80°/s
X軸 ±2mm - 5nm 10mm/s
Y軸 ±2mm - 5nm 10mm/s
Z軸 ±2mm - 5nm 10mm/s

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