ピエゾスキャナーステージ

SmarAct社は、従来のStick-Slipピエゾステージに加え、振動を抑えたピエゾステージSMARFLEXシリーズをラインアップに取り揃えました。
小型ながらフィードバックセンサを内臓していますのでクローズドループ制御が可能で高分解能な位置決めが可能です。
また水平ステージと垂直ステージを取り揃えており、非磁性などのオプションにも対応することができます。