精密ステージ
- ピエゾスキャナーステージ
- 精密ステージ一覧開く
-
- 精密ステージ一覧
- ロングレンジピエゾステージ
- ピエゾスキャナーステージ
- リニアモータステージ
- オプトメカニクス
- 特殊ステージ
- 多軸ステージシステム
- アプリケーション
- コントローラ
ピエゾスキャナーステージ

ピエゾスキャナーステージ
SmarAct社は、従来のStick-Slipピエゾステージに加え、振動を抑えたピエゾステージSMARFLEXシリーズをラインアップに取り揃えました。
小型ながらフィードバックセンサを内臓していますのでクローズドループ制御が可能で高分解能な位置決めが可能です。
また水平ステージと垂直ステージを取り揃えており、非磁性などのオプションにも対応することができます。

移動範囲が60μmの水平軸ピエゾステージです。
サイズは32x32x12mmとコンパクトです。

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

移動範囲が60μmの垂直軸ピエゾステージです。
サイズは32x32x15mmとコンパクトです。

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

水平軸ピエゾステージです。
サイズは52x52x15mmながら移動範囲は200μmです。

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

S水平2軸のピエゾステージです。
32x32x20mmと軽量・コンパクトな2軸ステージです。

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます