エアーベアリング回転ステージ

エアーベアリング回転ステージは、最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージです。
搭載物に応じて回転テーブルサイズを豊富にご用意しております。
幅広いアプリケーションにご利用いただいております。

ご利用アプリケーション

エアーベアリングリニアステージ

エアーベアリングリニアステージには豊富なラインアップをご用意しております。
ステージを組み合わせたガントリーステージやXYZ軸のカスタマイズシステムもご提供しております。