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精密ステージ

- 多軸ステージシステム（多軸ステージシステム）
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多軸ステージシステム（多軸ステージシステム）

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多軸ステージシステム

多軸ステージシステム

SmarAct社では、お客様から特に好評が高い代表的な多軸システムをシリーズ化しました。これらのシステムをベースに更にステージを追加することも可能です。

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XY2軸ステージシステム

SLCシリーズ及びCLSシリーズを使ったXY2軸ステージシステムです。

XY-SLC1722

SLC-1720を2台組み合わせたXYステージシステムです。
小型ながらXY軸とも12mmのストロークを持っています。

XY-SLC1722図面 XY-SLC1722図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XY-SLC1722
移動距離（X） 12mm
移動距離（Y） 12mm
使用ステージ SLC-1720
耐荷重 20N
外形 65x65x24mm（ベースプレート含む）
22x22x19mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
商品詳細はこちら
XY-SLC1730

SLC-1730を2台組み合わせたXYステージシステムです。
小型ながらXY軸とも21mmのストロークを持っています。

XY-SLC1730図面 XY-SLC1730図面拡大
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主な仕様
型番 XY-SLC1730
移動距離（X） 21mm
移動距離（Y） 21mm
使用ステージ SLC-1730
耐荷重 20N
外形 65x65x22mm(ベースプレート含む)
22x22x17mm(ステージのみ)
分解能(Closed loop時) 1nm（Sセンサ）
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XY-SLC1780

SLC-1780を2台組み合わせたXYステージシステムです。
XY軸とも51mmのストロークを持っています。

XY-SLC1780図面 XY-SLC1780図面拡大
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XY-SLC1780
移動距離（X） 51mm
移動距離（Y） 51mm
使用ステージ SLC-1780
耐荷重 30N
外形 80x80x22mm（ベースプレート含む）
80x80x17mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
商品詳細はこちら
XY-SLC2460

SLC-2460を2台組み合わせたXYステージシステムです。
XY軸とも35mmのストロークを持っています。

XY-SLC2460図面 XY-SLC2460図面拡大
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主な仕様
型番 XY-SLC2460
移動距離（X） 35mm
移動距離（Y） 35mm
使用ステージ SLC-2460
耐荷重 30N
外形 65x65x26mm（ベースプレート含む）
60x60x21mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
商品詳細はこちら
XY-CLS3232

CLS-3232を2台組み合わせたXYステージシステムです。
XY軸とも21mmのストロークを持っています。

XY-CLS3232図面 XY-CLS3232図面拡大
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XY-CLS3232
移動距離（X） 21mm
移動距離（Y） 21mm
使用ステージ CLS-3232
耐荷重 20N
外形 65x65x27mm（ベースプレート含む）
32x32x22mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
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XY-CLS5252

CLS-5252を2台組み合わせたXYステージシステムです。
XY軸とも31mmのストロークを持っています。

XY-CLS5252図面 XY-CLS5252図面拡大
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XY-CLS5252図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XY-CLS5252
移動距離（X） 31mm
移動距離（Y） 31mm
使用ステージ CLS-5252
耐荷重 20N
外形 90x90x34mm（ベースプレート含む）
52x52x28mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
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XYZ3軸ステージシステム

SLCシリーズ及びCLSシリーズを使ったXYZ3軸ステージシステムです。

XYZ-SLC1722

SLC-1720を3台組み合わせたXYZステージシステムです。
小型ながらXYZ軸とも12mmのストロークを持っています。

XYZ-SLC1722図面 XYZ-SLC1722図面拡大
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＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XYZ-SLC1722
移動距離 X=12mm, Y=12mm, Z=12mm
使用ステージ SLC-1720
耐荷重 1.5N
外形 65x65x41mm（ベースプレート含む）
34x22x36mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
商品詳細はこちら
XYZ-SLC1730

SLC-1730を3台組み合わせたXYZステージシステムです。
小型ながらXYZ軸とも21mmのストロークを持っています。

XYZ-SLC1730図面 XYZ-SLC1730図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
XYZ-SLC1730図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XYZ-SLC1730
移動距離 X=21mm, Y=21mm, Z=21mm
使用ステージ SLC-1730
耐荷重 1.5N
外形 65x65x58mm（ベースプレート含む）
38x32x53mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
商品詳細はこちら
XYZ-SLC2330

U字型ベースプレートオプション付きSLC-1730を3台組み合わせたXYZステージシステムです。
より高い強度を持ちXYZ軸とも21mmのストロークを持っています。

XYZ-SLC2330図面 XYZ-SLC2330図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
XYZ-SLC2330図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XYZ-SLC2330
移動距離 X=21mm, Y=21mm, Z=21mm
使用ステージ SLC-1730-W
耐荷重 1.5N
外形 65x65x58mm（ベースプレート含む）
38x32x53mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
商品詳細はこちら
XYZ-XY-SLC1740_Z-SLC1730.jpg

XY軸にSLC-1740とZ軸にSLC-1730を組み合わせたXYZステージシステムです。
XY軸は26mm、Z軸は21mmのストロークを持っています。

XYZ-XY-SLC1740_Z-SLC1730図面 XYZ-XY-SLC1740_Z-SLC1730図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
XYZ-XY-SLC1740_Z-SLC1730図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XYZ-XY-SLC1740-Z-SLC1730
移動距離 X=26mm, Y=26mm, Z=21mm
使用ステージ XY:SLC-1740, Z:SLC-1730
耐荷重 1.5N
外形 65x65x62mm（ベースプレート含む）
42x40x57mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
商品詳細はこちら
XYZ-SLC2445

SLC-2445を3台組み合わせたXYZステージシステムです。
XYZ軸とも29mmのストロークを持っています。

XYZ-SLC2445図面 XYZ-SLC2445図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
XYZ-SLC2445図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XYZ-SLC2445
移動距離 X=29mm, Y=29mm, Z=29mm
使用ステージ SLC-2445
耐荷重 1.5N
外形 65x65x81mm（ベースプレート含む）
52x45x76mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
商品詳細はこちら
XYZ-CLS3232

CLS-3232を3台組み合わせたXYZステージシステムです。
XYZ軸とも21mmのストロークを持っています。

XYZ-CLS3232図面 XYZ-CLS3232図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
XYZ-CLS3232図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XYZ-CLS3232
移動距離 X=21mm, Y=21mm, Z=21mm
使用ステージ CLS-3232
耐荷重 1.5N
外形 65x65x59mm（ベースプレート含む）
48.5x32x54mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
商品詳細はこちら
XYZ-CLS5252

CLS-5252を3台組み合わせたXYZステージシステムです。
XYZ軸とも31mmのストロークを持っています。

XYZ-CLS5252図面 XYZ-CLS5252図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
XYZ-CLS5252図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XYZ-CLS5252
移動距離 X=31mm, Y=31mm, Z=31mm
使用ステージ CLS-5252
耐荷重 1.5N
外形 65x65x59mm（ベースプレート含む）
79x63.5x89.5mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
商品詳細はこちら

XYZR4軸ステージシステム

SLCシリーズ及びCLSシリーズを使ったリニアXYZ3軸ステージに回転R1軸ステージを搭載したシステムです。

XYZR-XYZ-CLS3232-R-SRP3211

CLS-3232を3台組み合わせて、先端にSR-3211をマウントしたXYZRの4軸ステージシステムです。小型ながらXYZ軸が21mmのストロークと先端に360°回転可能なR軸が取り付けられています。

XYZR-XYZ-CLS3232-R-SRP3211図面 XYZR-XYZ-CLS3232-R-SRP3211図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
XYZR-XYZ-CLS3232-R-SRP3211図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XYZR-XYZ-CLS3232-R-SRP3211
移動距離 X=21mm, Y=21mm, Z=21mm, R=360°
使用ステージ XYZ：CLS-3232, R：SR-3211
耐荷重 3.3N
外形 79x65x70mm（ベースプレート含む）
62.5x45.5x65mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
商品詳細はこちら
XYZR-XYZ-SLC1730-R-SRP2013

SLC-1730を3台組み合わせて、先端にSR-2013をマウントしたXYZRの4軸ステージシステムです。小型ながらXYZ軸が21mmのストロークと先端に360°回転可能なR軸が取り付けられています。

XYZR-XYZ-SLC1730-R-SRP2013図面 XYZR-XYZ-SLC1730-R-SRP2013図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
XYZR-XYZ-SLC1730-R-SRP2013図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 XYZR-XYZ-SLC1730-R-SRP2013
移動距離 X=21mm, Y=21mm, Z=21mm, R=360°
使用ステージ XYZ：SLC-1730, R：SR-2013
耐荷重 1.3N
外形 68x65x57mm（ベースプレート含む）
50x30x52mm（ステージのみ）
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサ）
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047-370-8600